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重庆市自然科学基金(cstc2012jiB70002)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：刘威王松李晖孙迎军陈勇更多>>
相关机构：重庆理工大学更多>>
发文基金：重庆市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇调质
  • 1篇涂层
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇CRN涂层
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇重庆理工大学

作者

  • 1篇许洪斌
  • 1篇陈勇
  • 1篇孙迎军
  • 1篇李晖
  • 1篇王松
  • 1篇刘威

传媒

  • 1篇重庆理工大学...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
调质40Cr磁控溅射制备CrN涂层工艺优化设计被引量：2
2013年
为找到合适的工艺方案,使之能通过磁控溅射在调质40Cr表面制备得到性能良好的CrN涂层,采用正交试验的方法进行试验设计及数据分析。选取氮气流量、工作真空度、靶功率、沉积时间为主要因素,将涂层表面光洁度、涂层厚度、涂层硬度、涂层与基体的结合力作为衡量标准。结果表明最佳工艺方案为:N2流量为40 sccm,工作真空度为1.2 Pa,靶功率为150 W,沉积时间为120 min。
王松李晖陈勇许洪斌孙迎军刘威
关键词：磁控溅射CRN涂层
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