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江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ08271)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
黄志红
刘飞飞
罗贤平
徐鹏
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江西理工大学
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2014
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基于Halcon的IC测试探针表面质量的机器视觉检测系统
被引量:2
2014年
IC测试是集成电路生产中的重要工序,探针表面诸如划痕、凹坑等缺陷对性能测试结果影响大.文章研究了IC探针表面质量的机器视觉检测方法,讨论了灰度变换、均值滤波、区域连通、图像分割等缺陷图像处理和形状识别方法,建立了相应的探针表面质量检测系统,并基于机器视觉软件Halcon开发了探针表面质量检测系统软件.实验表明:开发的检测系统可对直径0.3-0.6 mm的IC测试探针表面质量进行快速检测评估,且系统的稳定性好、检测精度高,能有效缩短检测时间和减少检测成本.
徐鹏
黄志红
刘飞飞
罗贤平
关键词:
机器视觉
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