国家自然科学基金(60878045)
- 作品数：7 被引量：26H指数：4
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- 相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院研究生院更多>>
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- 相关领域：理学金属学及工艺机械工程更多>>
- 常压下高低温交变实验对激光薄膜元件的影响
- 2011年
- 在不同的实验环境条件下,对电子束蒸发制备的ZrO2/SiO2多层膜进行了高低温交变实验。扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)的测试结果显示高低温交变前后薄膜内部均无晶体形成,膜层结构也无变化。测试高低温交变前后样片的透射率光谱、面形、激光损伤阈值,并对其进行分析。结果表明,在经历高低温交变实验之后,薄膜元件中心波长处的透射率下降,损伤阈值降低,面形向凹陷方向发展。
- 苏涵韩黄建兵于振坤
- 关键词：面形激光损伤
- HF蚀刻+逐层抛光法表征熔石英亚表面损伤层深度被引量：7
- 2012年
- 脆性材料的研磨过程会不可避免地产生亚表面损伤层,对亚表面损伤层的表征和抑制一直是获得高激光损伤阈值熔石英光学元件的关注热点。回顾了几种亚表面有损表征技术,通过实验重新评价了蚀刻表面峰谷(PV)粗糙度法的可行性,分析了其误差较大的原因。在此基础上,提出了一种新的亚表面损伤层深度检测方法——HF蚀刻+逐层抛光法。分别采用这两种表征技术以及粗糙度估计法、磁流变斜面抛光法对不同工艺研磨的熔石英亚表面裂纹深度进行了对比检测,结果表明这几种表征方法相互符合很好。
- 杨明红赵元安易葵邵建达
- 关键词：光学制造磁流变抛光
- 抑制损伤发展的CO_2激光修复技术及机理研究被引量：5
- 2011年
- 熔石英表面激光损伤发展问题一直制约着激光器的运行通量。采用CO2激光在线熔融修复损伤点,修复后形成一个光滑的高斯坑,去除了损伤点中的裂纹,平滑了凹凸不平的表面,并且在紫外脉冲激光作用下,修复斑再次产生损伤的阈值高于熔石英元件的损伤生长阈值。因此CO2熔融修复技术能有效地抑制损伤发展。通过分析CO2激光作用下熔石英表面的温度分布,讨论修复坑的形成过程,确定激光参数对修复效果的影响,为寻找最佳修复参数提供理论基础。同时利用原子力显微镜(AFM)、轮廓仪细致分析损伤点和修复斑的微细结构,采用有限差分时域方法计算损伤点和修复斑周围的光强分布,探索消除裂纹和平滑表面对抑制损伤生长的作用。
- 胡国行赵元安李大伟
- 关键词：激光光学温度分布光强分布
- 纳秒激光作用下材料的多缺陷耦合效应
- 建立了纳秒激光作用下材料的多缺陷耦合模型。该模型描述在纳秒激光作用下,多缺陷耦合效应对材料损伤阈值的影响。从热传导方程入手,在单杂质缺陷模型基础上,利用Mie散射理论计算杂质缺陷的吸收截面,根据材料基质和杂质缺陷的热物性...
- 于振坤齐红基赵元安贺洪波
- 关键词：热效应
- 文献传递
- 纳秒脉冲激光诱导的区域缺陷破坏模型被引量：3
- 2011年
- 完善了由缺陷吸收引起温升导致材料破坏的激光损伤模型。从热传导方程入手,该模型在单杂质缺陷模型基础上,利用米氏散射理论计算杂质缺陷的吸收截面,根据材料基质和杂质缺陷的热物性能参数,计算了杂质相互之间的有效作用距离,即材料的热扩散长度范围。结果表明,考虑周围杂质的影响,基质材料损伤阈值更接近实际情况,同时基质表面的损伤阈值与实验上所得的时间标尺F∝t0.5非常吻合。
- 于振坤齐红基赵元安贺洪波
- 关键词：激光光学热效应
- 不同工艺条件下TiO_2单层膜的吸收和损伤阈值测试被引量：6
- 2012年
- 利用电子束热蒸发技术在不同氧分压和烘烤温度下镀制了一系列TiO2单层膜,采用表面热透镜技术测量了样品在1064nm处的弱吸收值,并用激光损伤测试平台测量了样品的抗激光损伤阈值(LIDT)特性。实验结果表明较高的氧分压和较低的烘烤温度能显著减小薄膜的吸收值。不过薄膜在基频下的损伤阈值除了受到薄膜吸收值的影响外,还取决于基底表面的杂质密度,当薄膜吸收较大时,本征吸收对损伤破坏起到主要作用;随着薄膜的吸收逐渐减小,基底表面处的缺陷吸收逐渐取代本征吸收成为影响薄膜损伤阈值的主导因素。
- 徐俊海赵元安邵建达范正修
- 关键词：氧化钛烘烤温度氧分压
- 基底亚表面裂纹对减反射膜激光损伤阈值的影响被引量：3
- 2012年
- 利用化学沥滤技术,分析了亚表面裂纹对基底表面和减反射膜激光损伤阈值(LIDT)的影响。通过去除或保留研磨裂纹,获得了亚表面裂纹数密度有明显区别的两类基底。为了凸出亚表面裂纹层的作用,基底采用化学沥滤去除另外一种可能的影响因素,即再沉积层中的抛光杂质。然后采用电子束蒸发镀制HfO2/SiO2减反射膜。355nm激光损伤阈值测试结果和损伤形貌分析证实了基底亚表面裂纹对减反射膜抗激光损伤能力的负面影响。根据熔石英基底抛光表面的烘烤现象,提出了亚表面缺陷影响膜层激光损伤的耦合模型。
- 杨明红赵元安苏涵韩单海洋易葵邵建达
- 关键词：激光损伤减反射膜
- 不同工艺条件下TiO2单层膜的吸收和损伤阈值测试
- 利用电子束热蒸发技术在不同氧分压和烘烤温度下镀制了一系列TiO2单层膜,采用表面热透镜技术测量了样品在355nm和1064nm处的弱吸收值,并用激光损伤测试平台分别测量了样品在两个波长处的抗激光损伤阈值（LIDT）特性。...
- 徐俊海赵元安范正修
- 关键词：二氧化钛弱吸收烘烤温度氧分压
- 文献传递
- 熔石英抛光表面结构的蚀刻和热处理表征被引量：4
- 2012年
- 利用HF蚀刻和热处理,结合原子力显微(AFM)分析,对传统抛光和磁流变抛光的表面结构进行了表征。为了分析热处理凸起的形成源,抛光表面在热处理前分别采用超声清洗、化学沥滤和HF蚀刻三种不同的表面处理技术进行处理,去除了不同表面材料。蚀刻形貌和热处理形貌及其关联性表明,传统抛光表面存在着大量纳米级缺陷,这些缺陷由易于诱导激光损伤的纳米级微裂纹和颗粒状分布的抛光杂质组成。结合抛光机制的分析,建立了传统抛光表面的微裂纹-颗粒杂质结构模型。
- 杨明红赵元安单海洋易葵邵建达
- 关键词：光学制造热退火
