江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(06-D-024)
- 作品数：10 被引量：68H指数：5
- 相关作者：朱永伟左敦稳李茂李军邵建兵更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学郑州电力高等专科学校中国科学院更多>>
- 发文基金：江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信化学工程建筑科学更多>>
- 固结磨料抛光K9光学玻璃的工艺实验研究被引量：7
- 2010年
- 采用一种亲水性固结磨料抛光垫(FAP),通过单因素实验法,系统地研究了抛光K9光学玻璃过程中抛光时间、偏心距、压力、转速、抛光液流量及pH值等工艺参数对材料去除速率(MRR)和表面粗糙度的影响规律,并对实验结果进行了解释。结果表明:随着抛光时间的延长,K9光学玻璃的MRR逐渐呈下降趋势;在抛光20min时,MRR达最大值310nm/min,且表面粗糙度降至最低值为2.73nm;选择较大的偏心距和碱性抛光液环境均有利于提高MRR;随着抛光盘转速的升高,MRR将显著增大。而在一定范围内,抛光压力和抛光液流量对MRR的影响不大。
- 林魁朱永伟李军李茂李锁柱
- 关键词：抛光工艺单因素实验
- LBO晶体的超精密加工工艺研究被引量：4
- 2008年
- 采用Logitech PM5精密研抛机,通过机械抛光和化学机械抛光方法超精密加工LBO晶体;详细研究了LBO晶体的超精密加工工艺,并观察研磨和抛光等加工过程后的晶体表面形貌;研究抛光液和抛光垫在抛光中对LBO晶体表面微观形貌的影响。使用Wkyo激光干涉仪测量平面度,光学显微镜观察表面宏观损伤,原子力显微镜测量表面粗糙度和观察微观形貌。通过实验,实现高效率、高精度、高质量的LBO晶体的超精密加工,得到了LBO晶体的超精密加工工艺;超精密加工后晶体的表面粗糙度<0.2nm RMS,表面平面度<λ/10(λ=633nm),微观损伤少。
- 李军李军朱永伟左敦稳朱镛
- 关键词：LBO晶体超精密加工化学机械抛光表面粗糙度
- Ni-P-金刚石化学复合镀研究工艺对镀层硬度的影响被引量：1
- 2009年
- 在镍磷化学镀的基础上,研究了微米、纳米金刚石化学复合镀工艺。采用正交试验方法,研究化学镀液、金刚石种类与浓度、表面活性剂种类与含量以及热处理温度等因素对镀层显微硬度的影响。结果表明:对镀层硬度影响明显的因素依次为金刚石种类、表面活性剂种类、热处理温度和表面活性剂含量,而镀液种类和金刚石浓度对镀层硬度的影响较小。最佳工艺为:金刚石为纳米金刚石灰粉,添加阴离子表面活性剂,热处理温度为350℃,表面活性剂含量为1∶10,选用化学镀液B,金刚石浓度为6.0g/L。
- 李立明邵建兵朱永伟
- 关键词：金刚石化学复合镀正交设计
- 全文增补中
- 金刚石固结磨料研磨K9玻璃的研究被引量：23
- 2010年
- 为提高光学材料的研磨效率与质量,提出一种亲水性固结磨料研磨方法。采用图形转移与UV固化工艺,将粒径为5～10μm的金刚石磨料固结于亲水性光固化树脂中,制备固结磨料研磨抛光垫(FAP)。选取工件的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)来评价研磨的加工性能。对比研究了在相同粒径磨粒下的游离磨料研磨、固结磨料丸片研磨、及亲水性FAP研磨三种不同方法对K9光学玻璃的加工性能。实验结果表明:采用FAP研磨K9玻璃,MRR为350nm/min,表面粗糙度Sa为3.24nm,达到了精研的加工效率和抛光的表面质量。提出了固结磨料抛光丸片和亲水性FAP的加工模型,以及亲水性FAP的自修整机理。
- 林魁朱永伟李军李茂左敦稳
- 关键词：亲水性材料去除率
- 化学复合镀槽内流场的数字模拟
- 2009年
- 运用Fluent软件对实验中自行设计的化学复合镀槽内的流场进行数值模拟，用Gambit建立流体区域的实体模型，采用RNG型k-ε湍流模型及多重参考系法（MRF）处理搅拌区域。选取了多种搅拌转速进行计算模拟，并对计算结果进行定性检验分析。结果表明，计算所选的模型能较准确地反应镀槽内的速度场，在90～110r／min时，镀槽内的速度场最均匀。模拟结果将为实验研究提供指导，对提高复合镀层的表面形貌和组织性能具有一定的参考价值。
- 陈拥军朱永伟邵建兵朱昌洪
- 关键词：化学复合镀流场
- 微晶玻璃低温脆塑转变机理的研究被引量：6
- 2009年
- 微晶玻璃是一种新型的硬盘基板材料,目前大多采用超精密研磨和抛光进行加工。本文针对微晶玻璃低温抛光加工过程,研究了低温条件下微晶玻璃的脆塑转变机理,采用维氏硬度计研究了微晶玻璃在不同温度下的硬度以及裂纹的产生、扩展及特征,分析了温度对微晶玻璃脆塑转变的影响。结果表明:不同温度下,随着载荷的增加,微晶玻璃都经历了从塑性变形到脆性断裂的转变过程;随着温度的降低,微晶玻璃的显微硬度逐渐增加而裂纹长度减小。
- 周亮左敦稳孙玉利朱永伟
- 关键词：微晶玻璃压痕法
- 纳米金刚石爆轰黑粉化学复合镀层的耐磨性能被引量：2
- 2010年
- 采用在化学镀液中添加纳米金刚石爆轰黑粉的方法,在20#钢基体上共沉积了Ni–P–纳米金刚石复合镀层,重点研究了复合镀层的耐磨特性和金刚石含量、表面活性剂及热处理等工艺因素对复合镀层摩擦磨损性能的影响,并初步探索了复合镀层的耐磨机制。结果表明:纳米金刚石爆轰黑粉化学复合镀层具有优异的耐磨性能,黑粉中的石墨成分可起到自润滑作用。复合镀液中金刚石黑粉含量为8g/L,不添加表面活性剂,镀层热处理温度为360°C时,镀层耐磨性能最佳。
- 陈拥军朱永伟邵建兵朱昌洪
- 关键词：镍磷合金化学复合镀耐磨性
- Nd：Y3Al5O12透明陶瓷的超精密加工被引量：10
- 2008年
- 用化学机械抛光法加工掺钕钇铝石榴石(Nd:Y3Al5O12,Nd:YAG)透明陶瓷。为了提高加工效率,在研磨阶段逐步减小B4C磨料的粒径,精密研磨和抛光阶段采用粒度为3,1μm和0.3μm氧化铝粉;最后,选用胶体二氧化硅作为抛光液进行化学机械抛光,以获得更好的表面光洁度。采用Wkyo 激光干涉仪测量加工样品的平面度,光学显微镜观察表面宏观损伤,原子力显微镜测量表面粗糙度和微观形貌。结果表明:采用该工艺可实现高效率、高精度Nd:YAG 透明陶瓷的超精密加工,加工后的 Nd:YAG 陶瓷表面粗糙度<0.2nm RMS(root mean square),平面度<λ/10 (λ=633 nm),微观损伤少。
- 李军李军朱永伟左敦稳朱镛
- 关键词：化学机械抛光粗糙度平面度
- 固结磨料研磨与抛光的研究现状与展望被引量：21
- 2009年
- 分析了传统游离磨料研磨抛光存在的缺点和固结磨料的研磨抛光的优点;阐述了固结磨料研磨抛光的材料去除机制以及固结磨料研磨盘抛光技术在氮化硅陶瓷加工、半导体制程中的应用;介绍了多种固结磨料研磨盘、抛光垫的制作方法;并展望了固结磨料的研磨抛光的发展趋势。
- 李立明李茂朱永伟
- 关键词：抛光垫研磨抛光
- 无磨料化学机械抛光的研究进展被引量：4
- 2008年
- 无磨料化学机械抛光(AFP)技术克服传统化学机械抛光(CMP)易产生凹陷、腐蚀和微观划痕等表面损伤的特点,成为解决半导体晶片上Cu膜表面平坦化的重要技术;AFP已广泛用于铜大马士革层间互连及其他材料的加工。综述了AFP技术的研究现状,指出了AFP急待解决的技术和理论问题,并对其发展趋势进行展望。
- 李军左敦稳朱永伟孙玉利王军
