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中央高校基本科研业务费专项资金(FRF-TP-13-035A)
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相关作者:
黑立富
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金刚石膜表面氨等离子体处理研究
2013年
本文尝试采用微波等离子体CVD技术,实现金刚石膜的制备以及金刚石膜表面的氨等离子体处理,实现氨基功能化修饰金刚石膜的制备。通过扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)以及水接触角等对氨等离子体处理前后的金刚石膜进行检测分析。结果表明,采用微波等离子体CVD技术,可以在金刚石膜表面植入氨基实现功能化修饰,从而提高金刚石膜表面活性。同时,金刚石膜的整体品质未出现显著变化。
魏俊俊
黑立富
高旭辉
李成明
关键词:
金刚石薄膜
微波等离子体
氨基
水接触角
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