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国家杰出青年科学基金(11105215)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
王玉柱
杜韦陶
张翼飞
宋丽
王劼
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相关机构:
中国科学院上海应用物理研究所
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发文基金:
国家杰出青年科学基金
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理学
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机构
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中国科学院上...
作者
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罗红心
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王劼
1篇
宋丽
1篇
张翼飞
1篇
杜韦陶
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王玉柱
传媒
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核技术
年份
1篇
2012
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掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度
被引量:1
2012年
在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系。在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散射分布并进行处理,计算出两块反射镜的表面均方根粗糙度(RMS)。与白光干涉法测量结果的比对结果表明,根据这种理论进行数据处理得到的RMS值,与白光干涉法的测量结果非常符合。
杜韦陶
宋丽
王玉柱
罗红心
张翼飞
王劼
关键词:
超光滑表面
同步辐射光源
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