公共文化服务平台

共 4 条记录，以下是 1-4

全选清除导出

排序方式：

壳层形态对核/壳结构PS/SiO_2复合磨料抛光性能的影响: 2014年; 以聚苯乙烯(PS)微球为内核,通过控制正硅酸乙酯的水解过程制备具有不同壳层形态的核/壳结构PS/SiO2复合磨料,应用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,借助AFM测量抛光表面的形貌、轮廓曲线及粗糙度.SEM和TEM结果显示:碱性水解条件下,复合磨料的壳层由SiO2纳米颗粒组成(非连续壳层);酸性条件下,复合磨料的壳层则呈无定型网状(连续壳层).抛光对比试验结果表明:复合磨料的PS弹性内核有利于降低表面粗糙度并减少机械损伤,SiO2壳层则有利于提高材料去除率,复合磨料的核/壳协同效应对于提高抛光质量具有主要影响.相对于非连续壳层复合磨料,具有连续壳层的PS/SiO2复合磨料能够得到更低的抛光表面粗糙度值(RMS=0.136 nm),且在抛光过程中表现出了更好的结构稳定性.然而,PS/SiO2复合磨料的壳层形态对抛光速率的影响则不明显.; 赵晓兵李志娜钱程陈杨; 关键词：核壳结构化学机械抛光

草莓状PS/SiO_2复合磨料的可控合成及其抛光性能被引量：1: 2013年; 以经过聚乙烯吡咯烷酮（PVP）进行表面修饰的聚苯乙烯（Ps）微球为内核，在碱性条件下采用溶胶一凝胶法在Ps微球直接包覆SiO2制备有机／无机PS／SiO2复合微球，通过控制反应体系中正硅酸乙酯（TOES）的浓度来摔制复合微球中氧化硅的质量分数，并借助原子力显微镜（AFM）考察了PS／SiO2复合磨料对硅热氧化片的抛光特性，初步分析有机／无机复合磨料的非刚性力学特性对抛光质量的影响。透射电镜（TEM）结果显示：复合微球具有草莓状核壳包覆结构，其氧化硅壳层是由SiO2纳米颗粒所组成；热失重分析（TGA）表明：样品中氧化硅含量为12％～69％（质量分数）。AFM测试结果表明：复合磨料中氧化硅的含量对抛光后晶片的微观形貌、粗糙度及表而轮廓具有明显的影响。; 陈杨穆为彬陈志刚; 关键词：核壳结构复合微球磨料氧化硅

抛光压力对PS/CeO_2纳米复合磨粒抛光性能的影响被引量：2: 2015年; 以采用改进无皂乳液聚合法制备的纳米尺寸聚苯乙烯（PS）微球为内核,采用原位化学沉淀法制备了不同壳层厚度的PS/CeO2核/壳包覆结构复合微球。将所制备的复合颗粒用于二氧化硅介质层的化学机械抛光,用原子力显微镜测定晶片的微观形貌和粗糙度。电镜结果表明：复合颗粒呈规则球形,其PS内核尺寸约为72 nm,CeO2壳厚为5-20 nm。抛光结果显示：在本实验范围内,抛光速率随抛光压力的增加而增大,而过低（2.4 psi,1 psi=6 895 Pa）或过高（6.1 psi）的抛光压力均使晶片表面产生划痕。当抛光压力适中（4.5 psi）时,经复合磨料（壳厚约为13 nm）抛光后的晶片表面无明显划痕,在5μm×5μm范围内表面均方根粗糙度为0.265 nm,抛光速率达98.7 nm/min。; 汪亚运陈杨赵晓兵秦佳伟; 关键词：氧化铈核壳结构

有序大孔TiO_2双层膜的设计合成及其在染料敏化太阳能电池中的应用被引量：2: 2013年; 以垂直沉积法制备的聚苯乙烯(polystyrene,PS)胶体晶体为模板,钛酸四异丙酯为钛源,通过浸渍-煅烧工艺制备了具有分层次有序结构的大孔TiO2双层膜,并作为光阳极应用于染料敏化太阳能电池(dye-sensitized solar cells,DSSCs)。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、紫外-可见漫反射光谱仪和氮气吸附-脱附分析仪等手段对样品进行了表征。结果表明,有序大孔TiO2薄膜较好地复制了PS模板的三维有序结构,且有较大的比表面积。光电性能测试结果表明,与以纯P25薄膜为光阳极的DSSCs相比,有序大孔TiO2双层膜为光阳极能够明显提高DSSCs的光电转换效率,可从4.16%提高到6.08%。该类型分层次有序结构大孔TiO2双层膜在DSSCs中具有重要的潜在应用价值。; 唐昭芳陈志刚; 关键词：TIO2 双层膜染料敏化太阳能电池

全选清除导出

共1页<1>

国家自然科学基金(51205032)