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黑龙江省教育厅资助项目(11511270)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：郭永峰梁迎春闫永达袁福龙李丽更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学黑龙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金黑龙江省教育厅资助项目黑龙江省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇微结构
  • 1篇碱溶液
  • 1篇AFM

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇黑龙江大学

作者

  • 1篇李丽
  • 1篇袁福龙
  • 1篇闫永达
  • 1篇梁迎春
  • 1篇郭永峰

传媒

  • 1篇黑龙江大学自...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
利用AFM和碱溶液在单晶硅表面微加工及其电化学机理
2006年
用AFM在单晶硅片(100)表面上加工出一微结构表面,而且加工过程中单晶硅的表面生成很薄的二氧化硅保护层,使其置于氢氧化钾溶液中刻蚀加工可得到微结构(长×宽:10μm×10μm)。加工过程中利用二氧化硅和单晶硅与氢氧化钾溶液化学反应速率的不同,以及单晶硅不同晶面与氢氧化钾溶液反应速率的各向异性达到加工目的,并应用化学键理论—能带理论对在KOH水溶液中加工反应的机理进行了分析。
袁福龙郭永峰梁迎春李丽闫永达
关键词：单晶硅微结构
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共1页<1>
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