国家自然科学基金(51075088)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于PIII技术的高真空洁净环境中润滑问题被引量：1
- 2012年
- 针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题,采用等离子体浸没离子注入(PIII)技术对复杂形状的零件进行表面改性,通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析,结果表明,通过对注入元素、剂量和能量的选择,可以大幅度提高材料表面的硬度及耐磨性,并且零件的尺寸精度及表面粗糙度保持性好,充分证明了PIII技术可以在满足颗粒洁净度和有机物洁净度的双重要求条件下,提高运动部件抗摩擦磨损性能,延长微驱动机构的运动精度寿命,是解决终端光学组件中润滑问题的有效途径。
- 曹永智卢礼华于福利陈家轩张庆春梁迎春
- 关键词：高真空
