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国家自然科学基金(50175037)

作品数:21 被引量:158H指数:9
相关作者:谢铁邦郭军王选择戴蓉常素萍更多>>
相关机构:华中科技大学三峡大学湖北工学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域:机械工程金属学及工艺自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

文献类型

  • 21篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 10篇机械工程
  • 5篇自动化与计算...
  • 4篇金属学及工艺
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 2篇政治法律
  • 2篇兵器科学与技...

主题

  • 4篇有限元
  • 4篇有限元分析
  • 3篇柔性铰链
  • 3篇计量学
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇弹头
  • 2篇电机
  • 2篇压电
  • 2篇压电陶瓷
  • 2篇衍射
  • 2篇音圈电机
  • 2篇微定位
  • 2篇微定位工作台
  • 2篇位移传感器
  • 2篇计量标准器
  • 2篇非接触
  • 2篇白光干涉
  • 2篇标准器

机构

  • 19篇华中科技大学
  • 1篇贵州大学
  • 1篇湖北工学院
  • 1篇三峡大学
  • 1篇襄樊学院
  • 1篇武汉理工大学

作者

  • 18篇谢铁邦
  • 8篇郭军
  • 6篇戴蓉
  • 6篇王选择
  • 4篇常素萍
  • 3篇杨练根
  • 2篇蒋向前
  • 2篇杨旭东
  • 2篇曾文涵
  • 2篇陈育荣
  • 1篇李柱
  • 1篇孙艳玲
  • 1篇李旦

传媒

  • 3篇计量学报
  • 3篇中国机械工程
  • 3篇华中科技大学...
  • 2篇光学精密工程
  • 2篇工具技术
  • 2篇兵工学报
  • 1篇光学技术
  • 1篇武汉理工大学...
  • 1篇机械制造
  • 1篇Journa...
  • 1篇Wuhan ...
  • 1篇Chines...
  • 1篇2006年湖...

年份

  • 1篇2008
  • 2篇2007
  • 7篇2006
  • 2篇2005
  • 2篇2004
  • 6篇2003
  • 2篇2002
21 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器被引量:4
2007年
介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器,分析了其光学原理、测量电路和信号细分方法。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法,使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高并且更便于光学调整。该传感器的测量分辨率高达5nm,可应用于表面形貌的高精度测量。
杨旭东陈育荣谢铁邦
关键词:位移传感器光电管信噪比
光栅计量型的垂直扫描位移工作台及其误差分析被引量:1
2006年
为满足精密测量中垂直扫描白光干涉以及千分表、电感位移传感器、表面粗糙度触针位移传感器标定对垂直方向的高精度定位和高分辨率运动要求,研制出一种纳米级垂直扫描位移工作台.该工作台采用柔性铰链结构,压电陶瓷驱动位移,满足纳米级微位移驱动要求,同时利用两级杠杆放大结构,扩大了位移行程.针对压电陶瓷驱动的位移随电压变化的非线性特点,利用衍射光栅对压电驱动进行实时监控,对这种非线性误差进行实时补偿.衍射光栅固定在工作台的微定位板上,工作台的移动量可由衍射光栅二次衍射干涉后产生的条纹变化得到.根据衍射光栅的计量特点,分析垂直扫描位移工作台测量误差的主要影响因素.通过试验验证,优化系统误差,进一步提高了垂直扫描位移工作台的定位精度.
常素萍孙艳玲谢铁邦戴蓉
关键词:计量学压电陶瓷衍射光栅白光干涉
一种高精度非接触式位移传感器及其应用
聚焦探测法是表面形貌非接触测量中的主要方法之一。然而.由于在聚焦伺服系统中采用了音圈电机.传统的聚焦探测传感器的测量精度较为有限。本文介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的非接触式位移传感器。因为...
陈育荣杨旭东谢铁邦
关键词:非接触测量位移传感器压电陶瓷驱动器
文献传递
Design and Applications of A 3D Precision Probe
2005年
A 3D probe used for NC\|copying process is proposed in the paper. The construction of parallel springs is adopted in the probe. It has compact structure and little volume. By adjusting spring force and improving sensitivity, the probe can be used in CMM. Errors of the probe are analysed. Performances of the probe are verified by test of measuring force, verification of precision of single axis and plane precision.
LIUXin-biaoXIETie-bang
关键词:CMM
COMPACT PHASE GRATING INTERFERENCE SENSOR FOR MICRO-DISPLACEMENT被引量:2
2006年
On the basis of existing techniques, a compact micro-displacement sensor of phase grating interference (PGI) is described, which adopts cylindrical hologram diffraction grating as the calibration standard. The optical principle of the sensor is explained, and the relation between the grating motion displacement and the phase shift of interference stripes is deduced. The improvement of the integral structure and the method of photoelectric signal processing are described in detail. With the software system based on the virtual instrument development platform Labwindows/CVI and other hardwares such as the precision displacement worktable, the surfaces of typical parts are measured and the characterization results are given. The sensor has wide measuring range and high resolution, its sensitivity and resolution being independent of the wavelength of the incident light. The vertical measuring range is 0-6 mm, and the vertical resolution is 0.005μm. The experimental results show that the sensor can be used to measure and characterize the surface topography parameters of the plane and curved surface.
XIAO Gang XIE Tiebang WANG Xuanze
白光干涉轮廓仪工作台的设计及有限元分析
2007年
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用了粗、精2级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。文中对由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构进行了力学建模分析,并对其进行了有限元仿真运算。设计的工作台已成功应用于白光干涉轮廓测量仪,文中给出了轮廓仪部分测量结果。
戴蓉谢铁邦
关键词:微定位工作台柔性铰链有限元分析
新型一维位移工作台的设计及特性分析被引量:18
2006年
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0~6mm的位移及1nm的定位分辨力。文中建立了由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构的机电耦合模型,进行了精定位机构的模态分析和静力学分析,并采用ANSYS软件进行了有限元仿真运算。最后给出了工作台在表面三维微观形貌测量仪中的应用结果。
戴蓉谢铁邦
关键词:微定位工作台柔性铰链有限元分析模态分析
垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统被引量:23
2006年
依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。
戴蓉谢铁邦常素萍
关键词:白光干涉微动工作台有限元分析
表面形貌的Motif评定方法及其发展被引量:19
2002年
Motif方法是一种新的表面形貌评定方法 ,通过设定不同的阈值 ,可以将波度和表面粗糙度分离开来 ,它强调大的轮廓峰和谷对功能的影响 ,在评定中选取了重要的轮廓特征 ,而忽略了不重要的特征。介绍了 2维 Mo-tif的参数和合并条件 ,然后对 3维 Motif方法的定义、评定参数及算法等进行了综述 ,并提出了推广这一评定方法需要注意的问题。
杨练根谢铁邦蒋向前李柱
关键词:表面形貌表面粗糙度波度
A high precision profilometer based on vertical scanning microscopic interferometry
2008年
A profilometer used for 3 dimension measurement of micro-surface topography is presented. The instrument is based on the vertical scanning microscopic interferometry (VSMI). A Linnik type interference microscope is used and the interferograms which present changes of surface profile are recorded with a CCD camera. A developed nano-positioning work stage with an integrated optical grating displacement measuring system realizes the precise vertical scanning motion during profile measurement. By a white-light phase shifting algorithm of arbitrary step, frames of interferograms are processed by a computer to rebuild and evaluate the measured profile. Because of the specialty of VSMI, the profilometer is suitable for both smooth and rough surface measurement. It can also be used to measure curved surfaces, dimension of micro electro mechanical systems (MEMS), etc. The vertical resolution of the profilometer is 0.5 nm, and lateral resolution 0.5 μm.
戴蓉谢铁邦龚文常素萍
关键词:PROFILOMETER
共3页<123>
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