国家大学生创新性实验计划(51900265029)
- 作品数：1 被引量：4H指数：1
- 相关作者：巩毛毛张笑妍卫会云李伟民邢杰更多>>
- 相关机构：中国地质大学（北京）更多>>
- 发文基金：国家大学生创新性实验计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 二氧化钛薄膜的制备及退火对其形貌、结构的影响被引量：4
- 2011年
- 利用磁控溅射技术,在石英基片上沉积Ti膜,分别在400、600、700、900℃的大气中退火获得TiO2薄膜。采用这种制备方式获得的TiO2薄膜呈现不同的颜色,退火温度为400℃的样品为暗紫红色,600℃时为黑色,而在700℃和900℃时均为黄色。采用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)以及Raman光谱等手段研究了退火温度对TiO2薄膜的结构和形貌的影响。结果表明:退火温度为400℃时,TiO2薄膜为锐钛矿相,温度升高至600℃时,几乎转变为金红石晶相,但仍存在微量锐钛矿相,温度升高至700℃以上,则完全转变为金红石晶相。由XRD衍射图可知退火温度为700℃和900℃时,薄膜的金红石相沿(101)晶面择优取向。
- 卫会云邢杰张笑妍巩毛毛李伟民
- 关键词：二氧化钛薄膜退火温度锐钛矿金红石
