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青岛市科技发展计划项目(200521)
作品数:
1
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王树龙
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图案化铜纳米线阵列的制备
被引量:1
2008年
采用紫外光刻法制得图案化的阳极氧化铝模板。在模板上蒸镀金膜后,采用电化学沉积法制备了铜纳米线,用扫描电子显微镜观察,研究了最佳电化学沉积时间。结果表明,铜纳米线阵列的图案与掩膜的图案完全一致,呈直径约5μm的圆形。铜纳米线的长度随沉积时间的增加而增长,沉积时间20min,即可制得长度约5μm的铜纳米线阵列结构。在此基础上可研制微器件。
刘曦
佘希林
宋国君
孙峋
王树龙
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图案化
铜纳米线
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