国家自然科学基金(51075368)
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
- 相关作者：欧长劲文东辉徐洪王正伟林云更多>>
- 相关机构：浙江工业大学浙江师范大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 声悬浮抛光磨粒微流场研究被引量：2
- 2013年
- 为了解决纳米试样超光滑表面的制备问题,将能提供稳定声压场的声悬浮抛光技术应用到流体抛光中,开展了声压场和磨粒流场之间关系的分析。利用Matlab/PDE工具箱对抛光装置内部声压仿真的方法,对比不同反射端对抛光槽声压场的影响,优化了适合抛光的反射端形状尺寸和发射端与反射端之间的距离。利用PIV测试分析了磨粒流场与声压场的相关性,建立了声压场和磨粒流场之间的关系。试验结果表明,磨粒的运动方向与声压等势线大致相同,而且磨粒的最大速度与声压大小成正比。
- 林云王正伟文东辉欧长劲
- 关键词：声悬浮PIV微流动
- 非晶合金薄膜铜衬底的低损伤超光滑制备被引量：2
- 2014年
- 依据非晶合金薄膜生长对铜衬底的超光滑和低损伤要求,通过采用蓝宝石替代物实现进行式机械研磨。数值模拟结果表明能有效降低铜衬底的表面应力,试验测试表明替代物蓝宝石基片能有效地改善Rt值分布;通过设计开发动压浮离抛光基盘,利用液动压效应使得抛光时铜衬底与磨粒之间呈软性接触状态,改善了抛光的润滑状态。综合采用纳米压痕、NT9800白光干涉仪、透射电镜分析铜衬底表面及亚表层特性,测试分析结果表明,制备的铜衬底表面粗糙度Ra0.37 nm、Rt4.94 nm,亚表层材质致密均匀,亚表面晶格分布有序,晶格间的距离较一致,采用进行式机械研磨和动压浮离抛光方法对铜衬底实现了低损伤超光滑制备。
- 徐洪文东辉欧长劲
- 关键词：超光滑
