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国家自然科学基金(60076004)

作品数：4 被引量：32H指数：3
相关作者：朱美芳刘丰珍刘金龙张群芳韩一琴更多>>
相关机构：中国科学院研究生院北京太阳能研究所有限公司更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理电子电信电气工程更多>>

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 3篇电气工程
  • 2篇动力工程及工...
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇热丝
  • 3篇电池
  • 3篇异质结
  • 3篇热丝化学气相...
  • 3篇化学气相
  • 3篇化学气相沉积
  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇太阳电池
  • 2篇太阳能电池
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇N型
  • 2篇HWCVD
  • 1篇等离子体
  • 1篇电输运
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇异质结太阳电...
  • 1篇异质结太阳能...
  • 1篇输运
  • 1篇太阳能

机构

  • 5篇中国科学院研...
  • 2篇北京太阳能研...

作者

  • 5篇刘丰珍
  • 5篇朱美芳
  • 3篇汪六九
  • 2篇冯勇
  • 2篇韩一琴
  • 2篇张群芳
  • 2篇刘金龙
  • 1篇许颖
  • 1篇周玉琴

传媒

  • 2篇太阳能学报
  • 2篇Journa...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
  • 1篇2004
  • 4篇2003
共 4 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
等离子体引入热丝CVD对沉积过程的影响
2003年
将等离子体引入热丝化学气相沉积(HWCVD)过程,并采用该技术制备了多晶硅和微晶硅薄膜,通过Raman散射、红外吸收谱等手段研究了薄膜结构性质,讨论了等离子体引入热丝CVD对沉积过程的影响.结果表明,与单纯的HWCVD技术相比,等离子体的加入在一定条件下有助于薄膜晶化、增加薄膜致密度、提高薄膜均匀性并阻止硅化物在高温热丝表面的形成.
刘丰珍
关键词：等离子体多晶硅
等离子体-热丝CVD技术制备多晶硅薄膜被引量：15
2003年
采用热丝化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积相结合的技术制备了多晶硅薄膜 ,通过 Raman散射、XRD、吸收谱等手段研究了薄膜结构和光学性质 .结果表明 ,与单纯的热丝和等离子体技术相比 ,等离子体 -热丝CVD技术在一定条件下有助于薄膜的晶化和提高薄膜均匀性 .Auger谱研究表明等离子体的引入大大降低了硅化物在高温热丝表面的形成 .
刘丰珍朱美芳冯勇刘金龙汪六九韩一琴
关键词：多晶硅薄膜光学性质
高效率n-nc-Si:H/p-c-Si异质结太阳能电池被引量：13
2007年
采用热丝化学气相沉积技术(HWCVD),系统地研究了纳米晶硅层(尤其是本征缓冲层)的晶化度以及晶体硅表面氢处理时间对nc-Si∶H/c-Si异质结太阳能电池性能的影响,通过C-V和C-F测试分析了不同氢处理时间和本征缓冲层氢稀释度对nc-Si∶H/c-Si界面缺陷态的影响,运用高分辨透射电镜观察了不同的本征缓冲层晶化度的nc-Si∶H/c-Si异质结太阳能电池的界面,优化工艺参数,在p型CZ晶体硅衬底上制备出转换效率为17·27%的n-nc-Si∶H/i-nc-Si∶H/p-c-Si异质结电池.
张群芳朱美芳刘丰珍周玉琴
关键词：异质结太阳能电池
热丝化学气相沉积n型nc-Si:H薄膜及异质结太阳电池的研究
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术制备n型纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜,系统研究了沉积参数,特别是掺杂浓度对薄膜微结构、电学性质和缺陷态的影响,获得了器件质量的n型nc-Si:H薄膜。制备了nc-Si:H/c-Si...
张群芳朱美芳刘丰珍刘金龙许颖
关键词：热丝化学气相沉积异质结太阳能电池
微晶硅薄膜电输运各向异性的研究
采用热丝技术,通过改变氢稀释度获得不同晶态比的微晶硅薄膜,对薄膜的直流共面电导和交流夹心电导测量表明,在晶态比0.43<X<0.8范围,薄膜电输运具有明显的各向异性,当X>0.8时,各向异性减弱。讨论了薄膜结构与输运各向...
刘丰珍朱美芳汪六九韩一琴
关键词：微晶硅电输运各向异性
文献传递
热丝化学气相沉积n型nc-Si:H薄膜及nc-Si:H/c-Si异质结太阳电池被引量：5
2006年
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术制备n型纳米晶硅(nc-Si∶H)薄膜,系统地研究了沉积参数,特别是掺杂浓度对薄膜微结构、电学性质和缺陷态的影响,获得了器件质量的n型nc-Si∶H薄膜。制备了nc-Si∶H/c-Si HIT(Heterojunction with Intrinsic Thin-layer)结构太阳电池,研究了异质结结构参数对电池性能的影响,初步得到电池性能参数如下:Voc=483mV、Jsc=29.5mA/cm2、FF=70%、η=10.2%。
张群芳朱美芳刘丰珍刘金龙许颖
关键词：热丝化学气相沉积异质结太阳电池
HWCVD热丝对硅基薄膜沉积的影响
研究热丝化学气相沉积（HWCVD）中高温热丝对衬底温度的影响,热丝扫描电镜表面形貌和Auger谱表明了硅在钨丝表面的沉积,讨论了金属硅化物形成及对薄膜性能的影响,提出了减少热丝表面硅沉积的方法,获得了器件质量非晶硅薄膜。
汪六九刘丰珍朱美芳冯勇
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