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湖北省自然科学基金(2001ABA094)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电性能
  • 1篇介电
  • 1篇介电性
  • 1篇介电性能
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射法制备
  • 1篇SR
  • 1篇BST薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇BA

机构

  • 1篇湖北大学

作者

  • 1篇何军
  • 1篇潘瑞坤
  • 1篇江娟
  • 1篇王军
  • 1篇章天金
  • 1篇王今朝

传媒

  • 1篇湖北大学学报...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3薄膜的磁控溅射法制备与介电性能研究
2007年
用磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.研究沉积气压和衬底温度对BST薄膜结构及介电性能的影响.应用XRD和AFM表征薄膜的物相结构及其表面形貌,通过阻抗分析仪测量薄膜的介电性能.结果表明在3.0 Pa沉积气压和600℃衬底温度下制备的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜有较好的微结构和介电性能.
王今朝章天金王军江娟潘瑞坤何军
关键词：BST薄膜介电性能
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共1页<1>
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