上海市教育委员会创新基金(08YZ04)
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
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- 相关机构：上海大学上海联孚新能源科技有限公司上海西域机电系统有限公司更多>>
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- 相关领域：理学电子电信化学工程更多>>
- MPCVD金刚石薄膜的红外椭偏光学性能研究
- 2010年
- 椭圆偏振光谱法是一种非破坏性光谱技术。为了获得微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)金刚石薄膜的最佳沉积条件,用红外椭圆偏振光谱仪对MPCVD金刚石薄膜的红外光学性能进行了表征测量,并分析了衬底温度和反应室的压强对金刚石薄膜的红外光学性质的影响。当甲烷浓度不变,衬底温度为750℃,反应室的压强为4.0kPa时,金刚石膜的红外椭偏光学性质达到最佳,其折射率的平均值为2.393。研究结果表明,金刚石薄膜的光学性能与薄膜质量密切相关,同时也获得了最佳的金刚石薄膜工艺条件。
- 苏青峰李东敏史伟民王林军夏义本
- 关键词：光学性能折射率金刚石薄膜
- 基于(100)定向金刚石薄膜的辐射探测器研究被引量：4
- 2009年
- 采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备了100μm米厚高质量(100)定向金刚石薄膜.利用(100)定向金刚石薄膜成功制备了α粒子探测器,-100V偏压下电荷平均收集效率为37.7%,最大的电荷收集效率达到60%以上.在此基础上,通过在α粒子探测器条状电极面蒸镀一层合适厚度的硼(10B)膜转化层,成功研制了金刚石中子探测器.镀硼之后探测器对中子有明显的响应,在1V/μm电场下,对252Cf中子的能量分辨率达到9.3%,探测效率达到1.67%.同时还研究了电场强度和硼(10B)层厚度对器件探测效率的影响规律.在厚度<1.5μm时,随着厚度的增加,探测效率上升,当厚度>1.5μm时,探测效率下降.
- 沈沪江王林军黄健徐闰史伟民夏义本
- 关键词：金刚石薄膜辐射探测器光电性能
- 薄膜取向性对金刚石紫外光探测器性能的影响被引量：1
- 2008年
- 国际上一般采用任意取向的多晶薄膜作为探测级材料，所以电荷收集效率较低以至于灵敏度受到限制。本实验采用不同取向的多晶金刚石薄膜制作紫外光探测器，研究了薄膜取向性对探测器性能的影响，为进一步提高金刚石薄膜紫外光探测器的性能提供理论和实验依据。采用热丝辅助化学气相沉积（HFCVD）法，获得了晶粒尺寸接近的不同取向的金刚石薄膜。通过微电子加工工艺制备了不同取向的金刚石薄膜紫外光叉指结构探测器。研究表明，探测器性能与金刚石薄膜晶粒取向密切相关，使用（100）取向薄膜所获得的探测器性能明显得到改善，在225nm紫外光下的光电流～暗电流之比以及190-700nm波长范围内的紫外／可见分辨率均优于其它取向。
- 赖建明王林军刘健敏马莹胡广祝雪丰黄健夏义本
- 关键词：金刚石膜紫外光探测器取向性
- 氧化锌/金刚石薄膜异质结紫外光探测器被引量：4
- 2011年
- 采用射频磁控溅射法在p型自支撑金刚石衬底上制备了高度c轴取向的n型氧化锌薄膜。研究了不同的溅射功率对氧化锌薄膜质量的影响。通过半导体特性分析系统测试了氧化锌/金刚石异质结的电流-电压特性,结果显示该异质结二极管具有良好的整流特性,开启电压约为1.6 V。在此基础上制备了结型紫外光探测器,并对其光电性能进行了研究。结果表明,在施加反向偏压的条件下,该探测器对紫外光具有明显的光响应。
- 黄健王林军唐可张继军夏义本鲁雄刚
- 关键词：氧化锌探测器异质结
