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生态纺织教育部重点实验室开放基金(KLET0613)

作品数：1 被引量：4H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇涤纶
  • 1篇涤纶非织造布
  • 1篇织造
  • 1篇溅射
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇非织造
  • 1篇非织造布
  • 1篇AFM
  • 1篇ITO
  • 1篇ITO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇江南大学

作者

  • 1篇王静
  • 1篇魏取福
  • 1篇汪莹莹
  • 1篇李琪

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
涤纶非织造布表面沉积ITO纳米薄膜的微观结构分析被引量：4
2007年
采用低温磁控溅射技术在涤纶纺粘非织造布表面沉积ITO(Indium Tin Oxide,铟锡氧化物)薄膜,利用原子力显微镜(AFM)观察ITO纳米薄膜在纤维表面沉积的微观结构,并较为系统地分析了溅射时间、溅射功率、氧气流量、气体压力以及基底温度对ITO透明导电薄膜微结构的影响。得到以下结论:沉积时间的长短、工作气体压力的大小对成膜的均匀性有很大影响;较高的射频溅射功率将导致纳米颗粒因团聚而增大;而氧气流量的大小则影响着颗粒结晶程度的好坏和晶粒尺寸的大小;基底温度升高则会导致颗粒产生热迁移现象。
汪莹莹魏取福李琪王静
关键词：ITO薄膜磁控溅射工艺参数AFM
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