NSAF联合基金(10476025)
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
- 相关作者：聂传继侯晶李瑞洁张清华王健更多>>
- 相关机构：成都精密光学工程研究中心浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金NSAF联合基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 化学刻蚀的光学元件面形修复被引量：3
- 2007年
- 采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染。实验中利用Marangoni界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积,并通过数控系统实现编程控制加工,进行了面形修复实验,利用轮廓仪测量了加工前后的表面粗糙度。结果表明,采用拼接小去除量多次加工的方法,有效地降低了面形误差,面形值由1.32λ(λ=632 nm)减少到0.66λ,粗糙度基本维持不变。利用此实验装置使基片面形得到修复,避免了传统加工方式带来的亚表面缺陷等问题,有利于强激光系统的使用。
- 项震侯晶聂传继许乔张清华王健李瑞洁
- 关键词：光学元器件粗糙度
