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国家自然科学基金(6063540)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
李正伟
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吴倩
余永
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余永
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李正伟
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1篇
2012
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基于机械放大式机构的新型纳米位移传感器设计
被引量:1
2012年
为了能有效地检测PZT驱动器纳米级的驱动位移,文章提出一种采用基于柔性铰链的多级杠杆放大原理的新型纳米位移传感器。与前三代纳米位移传感器相比,新型传感器采用差动结构以及圆筒状的外形,传感器的这种独特结构赋予其较大的机械放大比;同时,建立了其理想数学模型并计算了机械放大比。为了证明传感器的有效性,对其进行了有限元仿真分析。分析结果表明新型纳米位移传感器具有较大的应变输出,且其位移分辨率将小于3 nm。
李正伟
余永
吴倩
葛运建
关键词:
柔性铰链
圆柱状
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