教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-05-0842)
- 作品数：13 被引量：71H指数：5
- 相关作者：赵玉龙蒋庄德孙剑徐敬波赵立波更多>>
- 相关机构：西安交通大学北京大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术轻工技术与工程理学一般工业技术更多>>
- 基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究被引量：7
- 2008年
- 针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优化,改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。
- 刘元浩赵立波赵玉龙蒋庄德田边孟超
- 关键词：有限元分析
- MEMS耐高温压力传感器封装工艺被引量：4
- 2009年
- MEMS耐高温压力传感器在封装结构上采用薄膜隔离式结构,在油腔与波纹片所形成的密闭容腔里面填充高温硅油。由于传感器的工作温度达250℃,硅油、壳体基座及波纹片将会产生不同程度的热膨胀,最终将给压阻力敏芯片形成一定附加压力,严重影响传感器的精度。文中主要就硅油、壳体基座及波纹片在250℃工作时由于不同的热膨胀系数而导致的膨胀不一致情况进行ANSYS仿真分析,研究了平膜膜片及波纹状膜片情况下的硅油热膨胀问题,最后相应地得到了硅油相对于壳体和波纹片的热膨胀率,同时分析得出了合理设计波纹片结构可以有效减小硅油热膨胀时所产生的附加压力,提高传感器的工作灵敏度与稳定性。
- 孟超赵玉龙赵立波王新波刘元浩
- 关键词：MEMS耐高温压力传感器封装热膨胀
- 基于MEMS技术的植入式颅内压力监测传感器的研究
- 颅内压在神经外科的临床和科研中是一项十分重要的观察指标,对颅内压力进行动态监测并根据监测结果采取针对性措施对避免脑损害至关重要。本文提出了一种适用于对颅脑病人颅内压力进行长期实时监测的植入式颅内压力监测传感器,其结构包括...
- 王新波赵玉龙蒋庄德王珏孟超孙建
- 关键词：传感器颅内压封装
- 一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器被引量：5
- 2007年
- 针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应。结合芯片中各传感器的工作原理,用有限元方法对设计的结构进行了仿真,确定集成传感器的电阻分布和结构参数。根据确定的集成传感器结构,制定了相应的制备工艺步骤。最后给出了集成传感器芯片的性能测试结果。
- 徐敬波赵玉龙蒋庄德孙剑
- 关键词：集成传感器SOIMEMS
- 薄膜单点力传感器
- 2009年
- 针对处于点啮合状态下物体间啮合力的检测问题,提出薄膜单点力传感器。根据物体间啮合力较大的实际检测状况,利用碳二硫化钼压敏电阻油墨的轴向实心柱式压阻效应实现对点啮合物体间啮合力的检测。在研究现有成熟的丝网印制工艺基础上,通过丝网印制技术制作了薄膜单点力传感器,其厚度为0.15mm。试验测试与分析可知,薄膜单点力传感器能够检测出点啮合物体间的啮合力;并且该传感器具有良好的性能,如灵敏度为962.5?/N,分辨率为0.002N。
- 周高峰赵玉龙蒋庄德
- 关键词：点啮合
- 微机械轮式陀螺仪的结构分析被引量：1
- 2007年
- 以轮式陀螺仪为研究对象,利用有限元方法分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响。根据驱动模态和敏感模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸;通过谐响应分析确定了频率和振幅的关系,为结构设计和制备工艺提供了理论指导。
- 郭宏宾赵玉龙蒋庄德
- 关键词：微机电系统硅微机械陀螺有限元方法谐响应分析
- 集成传感器芯片的封装应力分析被引量：5
- 2006年
- 针对集成传感器芯片封装粘贴过程中的残余应力影响器件性能的问题,使用有限元方法对环氧粘胶粘贴集成传感器芯片产生的封装残余应力进行了分析.采用有机层压板作为封装基板,仿真计算了环氧粘胶的杨氏模量、厚度和溢出厚度的变化对集成传感器性能的影响,同时对集成传感器进行了封装实验.实验测量与仿真结果的比较分析表明:通过选择低杨氏模量的环氧粘胶、增加环氧粘胶厚度和增加环氧粘胶的溢出厚度可以减小封装应力对集成传感器的影响,而且封装应力对其中压力传感器的影响远大于对温度和湿度传感器的影响.分析结果对集成传感器的封装应用具有一定的参考价值.
- 徐敬波赵玉龙蒋庄德孙剑
- 关键词：集成传感器封装有限元残余应力
- 基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究被引量：7
- 2006年
- 采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,研制出量程为±2000g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计.加速度计具有较高的测量灵敏度和精度,满量程输出为126.97mV/2V,静态精度为0.86%FS.
- 赵玉龙赵立波蒋庄德
- 关键词：SOI技术压阻式高过载加速度计
- 新型非硅薄膜网格压力传感器的研究被引量：5
- 2008年
- 针对偏瘫病患者身体接触面间的压力分布检测,提出并研发了一种基于压阻效应的新型非硅薄膜网格压力传感器。它利用实心柱式压力传感器检测原理,通过丝网印刷工艺制作而成,具有准确、快速、高效、直观、超薄、耐用、可重复使用等特点;总测量厚度为0.32mm。制品测试分析表明该传感器能够快速直观地检测出接触面间的压力分布。同时,新型非硅薄膜网格压力传感器也为生物医疗、康复和汽车等领域提供了新的研究手段。
- 周高峰赵玉龙蒋庄德孟超
- 关键词：压阻效应电极丝网印刷
- 偏瘫患者人体压力分布检测传感器的研究
- 针对偏瘫患者在体能康复训练过程中人体压分布检测问题,本文作者提出了柔性薄膜网格压力传感器的检测机理、传感结构和制作工艺;同时对该传感器样品进行了性能测试和人体压分布测量;并对测试结果进行分析和讨论。实验分析结果表明:本文...
- 周高峰赵玉龙蒋庄德林启敬王新波孙建
- 关键词：薄膜传感器偏瘫患者压阻效应
