国家高技术研究发展计划(863-715-Z38-03) 作品数:7 被引量:37 H指数:3 相关作者: 吕反修 唐伟忠 刘敬明 张恒大 陈广超 更多>> 相关机构: 北京科技大学 中南大学 北京市电加工研究所 更多>> 发文基金: 国家高技术研究发展计划 更多>> 相关领域: 冶金工程 金属学及工艺 一般工业技术 理学 更多>>
CVD金刚石膜中的缺陷 被引量:1 2002年 研究了利用直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)的制备的大面积金刚石膜中的缺陷问题.研究表明:金刚石膜中的缺陷包括表面缺陷、晶内缺陷和晶界缺陷,以及由于内应力产生的金刚石膜宏观和微观裂纹.金刚石膜中的缺陷与制备工艺参数有着密切关系. 张恒大 刘敬明 宋建华 吕反修 唐伟忠关键词:CVD 金刚石膜 化学气相沉积 金刚石自支撑膜的力学性能研究 化学气相沉积金刚石膜研究已经进入大规模工业化应用阶段,工具、热沉、光学和某些电子学应用(如探测器和传感器)已经形成了一定的市场,而金刚石膜平板显示和真空微电子器件、声表面波器件、微机电系统、电化学等应用研究也已经显示了极... 吕反修 蒋政 唐伟忠 刘敬明 宋建华 杨武保 佟玉梅关键词:化学气相沉积 力学性能 文献传递 高功率直流电弧等离子体流动传热过程的数值模拟 被引量:1 2004年 金刚石薄膜在现代工业和军事中具有重要应用价值,但是其制备过程中仍然存在着诸多问题,影响了其产业化发展。本文采用数值模拟的方法对影响金刚石薄膜制备的关键因素直流电弧等离子体的流动传热过程进行了研究,获得了等离子体流动与传热过程中的流场分布、温度分布、电离度分布等有关参量的分布状况,为掌握和控制电弧等离子体流动传热过程提供了理论依据和指导。 邹学柏 郭鸿志 赵立合 吕反修 陈广超 吴祥宇关键词:直流电弧 等离子体 数值模拟 温度分布 高温空气燃烧技术的开发应用、技术优势及其展望 被引量:20 2004年 高温空气燃烧技术和高温空气气化技术是当前世界节能与环保领域中的两大新技术,二者均采用高于燃料着火点温度的高温空气作氧化剂或气化剂。介绍了利用蓄热式高温烟气余热回收装置和专门的高温空气发生器产生高温空气的方法,前者主要用于高温空气燃烧技术,后者主要用于高温空气气化技术。概括了高温空气燃烧技术和高温空气气化技术的应用状况,总结了其技术优势,并指出高温空气燃烧技术和高温空气气化技术符合中国国情,具有巨大的开发潜力和广阔的市场前景。 彭好义 蒋绍坚 周孑民关键词:高温空气燃烧 高温空气气化 高温空气发生器 酸浸+等离子体刻蚀YG6微米-纳米金刚石复合涂层工具研究 被引量:2 2005年 金刚石涂层工具一直是金刚石膜工具应用研究的主流。制约其产业化的主要因素是涂层的附着力低和微晶金刚石涂层工具的加工精度差。通过对衬底的有效预处理和CVD沉积过程控制的研究,开发在硬质合金基体上沉积高结合强度、低粗糙度的金刚石涂层新技术,对于实现CVD金刚石涂层刀具高效、高精度切削加工具有重要意义。对旨在提高金刚石涂层附着力的预处理技术,本文探索了将酸蚀脱钴+等离子体刻蚀处理衬底法。利用优化的沉积工艺,在酸浸+等离子刻蚀处理的YG6刀片上沉积的两层金刚石复合膜表面粗糙度为0.13μm,附着力压痕测试临界载荷大于1500N。金刚石涂层工具的切削加工性能明显高于无涂层硬质合金工具。在加工ZA lS i12合金时,单层和两层金刚石涂层车刀片的切削寿命分别是无涂层车刀片切削寿命的21倍和28倍。 苗晋琦 张鬲君 王成彪 吕建国 唐伟忠 吕反修关键词:硬质合金 附着力 直流电弧所在电网线路的非稳态分析及功率合理分配 2004年 由电孤启动到正常工作这段时间,电网线路的电流电压波动性较大,往往给电路其它各元件造成强烈的冲击。利用电弧伏安 特性曲线对电网电路非稳态过程进行了分析,并理论推导了既适合电路稳定性要求又能保证电弧具有理想输出功率的最佳电网阻抗 匹配值,现实上对正确使用直流电弧具有重要意义。 邹学柏 吕反修 陈广超 李栋关键词:电网 供电质量 直流电弧 阻抗匹配 氧化对CVD自支撑金刚石膜力学性能的影响 被引量:4 2004年 研究了CVD金刚石膜氧化行为与断裂强度的关系。试验结果表明:CVD金刚石膜随着高温氧化时间延长,其断裂强度不断下降;同样,随氧化温度的增高,断裂强度急剧降低。但在780℃氧化20min以内,或在810℃氧化10min以内,对金刚石膜的强度没有明显的影响。晶界的优先氧化所造成材料连续性的降低是高温下导致金刚石膜强度降低的主要原因。 刘敬明 唐伟忠 吕反修关键词:CVD金刚石膜 大面积CVD金刚石膜的热铁板抛光 被引量:10 2001年 研制成功国内第1台大面积CVD金刚石膜热铁板抛光机.它可以在10^(-Pa)真空条件下,加热到 1100℃;抛光台可以在0-10r/min间实现无级调速,一次完成3片φ110mm的金刚石膜的抛光.金刚石膜在980℃,2h抛光的结果表明该装置有良好的抛光效果.金刚石膜在980℃抛光不同时间的Raman谱表明,金刚石热铁板抛光是金刚石石墨化和C原子不断扩散的过程. 刘敬明 蒋政 张恒大 吕反修 唐伟忠关键词:CVD金刚石膜 化学气相沉积法 石墨化 抛光速率 化学抛光