教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NECT-04-0981)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 离轴照明下依赖于入射角度的矢量霍普金斯公式被引量：1
- 2008年
- 应用矢量电磁场理论和波导模型推导出离轴照明下的矢量霍普金斯公式,与传统的标量霍普金斯公式不同之处在于引入了入射角及入射方位角.通过仿真实际投影光刻工艺下三维掩模的成像效果,分析了最佳入射角范围,讨论了离轴照明时入射角对最终成像质量的影响.
- 曹鹏飞程琳张晓萍
- 关键词：光学光刻离轴照明
- 扩展傅里叶衍射理论在相移掩模中的应用被引量：1
- 2008年
- 针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。重新定义了阴影比率的公式。该方法是傅里叶衍射理论的扩展,是一种依赖于入射角的函数。分别给出了交替式相移掩模空间域和空间频率域的传递函数的表达式。并对提出的近似模型的衍射效率以及干涉场光强分布进行了仿真。结果表明,衍射效率和干涉场的强度分布是随着入射角的改变而改变的,不同线宽的衍射效率也不同。并且衍射效率是关于零度入射角对称分布。
- 刘佳张晓萍
- 关键词：相移掩模离轴照明
