福建省自然科学基金(A0710019)
- 作品数：2 被引量：4H指数：2
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- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 一种连续膜金属光栅的异常反射和透射特性被引量：2
- 2008年
- 利用全息干涉图案成形在石英衬底上刻蚀形成周期为波长光栅,并在上面淀积金属薄膜,制造了具有不同深度、金属层厚度和周期的金属光栅。研究发现了此金属光栅的反射率和透射率随入射角变化的异常特性,即反射谱和透射谱的表现在光栅深度和厚度不同时将可能发生翻转,反射谱由"谷"状变为"峰"状,而透射谱由"峰"状变为"谷"状。本文分析了相关的物理效应以及该结构与入射光相互作用的特点,解释了该实验现象。
- 孙志军KIM Hong-Koo
- 关键词：光栅金属
- 表面阳极氧化铝结构对ZnO薄膜探测器的响应增强被引量：2
- 2008年
- 通过在ZnO外延薄膜上淀积一层Al薄膜,并利用Al膜叉指型光刻胶图案为掩模,可以选择性地将叉指间无光刻胶区域下的Al膜阳极氧化,在ZnO表面形成氧化铝微纳结构,而在光刻胶掩模下未被阳极氧化的Al膜便成为ZnO紫外光电导探测器的叉指电极。用此法制备的非周期性氧化铝结构具有相近的孔大小和间距,形成可以在平面内全方位大角度衍射的光栅矢量。入射光可以被ZnO有阳极氧化铝结构的探测器比无此结构的器件在同等条件下的光响应度提高到了1.8倍。
- 孙志军曾丹燕
- 关键词：阳极氧化铝光栅
