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吉林省科技发展计划基金(20110346)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：张学宇吴爱民吴化刘耀东更多>>
相关机构：长春工业大学大连理工大学更多>>
发文基金：吉林省科技发展计划基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体诊断
  • 1篇NC-SI
  • 1篇AR
  • 1篇ECR-PE...
  • 1篇H2
  • 1篇H

机构

  • 1篇大连理工大学
  • 1篇长春工业大学

作者

  • 1篇刘耀东
  • 1篇吴化
  • 1篇吴爱民
  • 1篇张学宇

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Ar流量对ECR-PECVD制备氢化纳米晶硅薄膜结构及性能影响研究
2013年
采用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)设备制备了氢化纳米晶硅薄膜。通过Raman光谱、XRD和紫外-可见分光光度计的测试分析,研究了Ar/H2对薄膜组织结构和光学性能的影响,并对沉积腔室的等离子体环境进行了系统的诊断。实验发现:少量Ar气的通入有利于提高腔室中的电子温度,保证纳米晶硅薄膜结构的同时提高薄膜的光学带隙宽度。进一步提高Ar气的比例,薄膜明显非晶化,光学性能下降。结合薄膜生长机理和放电气体电离特性对实验结果的产生原因进行了分析。
张学宇吴化刘耀东吴爱民
关键词：等离子体诊断ECR-PECVD
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