针对静电驱动微机械谐振传感器接口动态电容的测量,文中介绍了一种读取接口电路,采用了高频方波对振动信号进行调制,模拟开关进行解调。以静电驱动的某真空封装微机械振动双框架陀螺为例,接口电路实验测试得到的波形与设计预期一致,并利用接口电路和频率扫描方法成功测得微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13.552 k Hz,品质因数为1863。
传统的模拟式频率特性测试仪存在价格昂贵、条件苛刻、操作不便和性能指标易受温漂因素影响等不足。针对以上缺点,通过采用数字技术,将先进的DDS和MSP430单片机相结合,集合一些常用的外围模拟电路,设计了一个简易的频率特性测试仪。系统对待测电路的输入信号及其输出响应采样,经数字信号处理后,获得电路的幅频特性和相频特性。设计的测试仪测某RLC网络,中心频率的相对误差小于0.2%,有载品质因数相对误差小于1.25%,最大电压增益大于-1 d B。频率特性测试仪输入输出阻抗均为50Ω,幅频误差绝对值小于0.5 d B,相频误差绝对值小于3°。测试仪能满足一般测试参数需求。
设计了一种基于正交调制原理的数字频率特性测试仪,系统用稳态响应法测量电路的频率特性.单片机作为主控芯片,完成系统的总体控制及数字信号处理;使用集成的直接数字频率合成芯片输出全频率范围内的正弦波.系统对待测电路的输入信号及其输出响应采样,经数字信号处理后,获得电路的幅频特性和相频特性.设计的测试仪测某RLC网络,中心频率的相对误差小于0.2%,有载品质因数相对误差小于1.25%,最大电压增益大于-1 d B.频率特性测试仪输入输出阻抗均为50Ω,幅频误差绝对值小于0.5 d B,相频误差绝对值小于3°,测试仪能满足微机械谐振传感器特征参数测试需求.
