国家自然科学基金(60776048)
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 相关作者：赵玉龙蒋庄德林启敬王伟忠孟超更多>>
- 相关机构：西安交通大学西安石油大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究被引量：7
- 2008年
- 针对隔离型压力传感器封装的特点,介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究,对波纹膜片的结构进行优化,改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。
- 刘元浩赵立波赵玉龙蒋庄德田边孟超
- 关键词：有限元分析
- 基于探针形式的三维硅微力传感器被引量：1
- 2009年
- 为满足三维微力测量的需求,以MEMS体硅压阻工艺技术为基础,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁,支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式,在4mm×4mm的硅基半导体芯片上用MEMS体硅工艺集成而成。通过ANSYS数值仿真的方法分析了三维硅微力传感器结构的应力特点,解决了三维微力之间的相互干扰问题,并对传感器性能进行了测试。结果表明,其X、Z方向的线性灵敏度分别为0.1682、0.0106mV/μN,最大非线性度分别为0.19%FS和1.1%FS。该传感器具有高灵敏度、高可靠性、小体积、低成本等特点。
- 林启敬赵玉龙蒋庄德王鑫垚王伟忠
- 关键词：微机电系统微力传感器探针三维力压阻
- 基于MEMS技术的植入式颅内压力监测传感器的研究
- 颅内压在神经外科的临床和科研中是一项十分重要的观察指标,对颅内压力进行动态监测并根据监测结果采取针对性措施对避免脑损害至关重要。本文提出了一种适用于对颅脑病人颅内压力进行长期实时监测的植入式颅内压力监测传感器,其结构包括...
- 王新波赵玉龙蒋庄德王珏孟超孙建
- 关键词：传感器颅内压封装
- 偏瘫患者人体压力分布检测传感器的研究
- 针对偏瘫患者在体能康复训练过程中人体压分布检测问题,本文作者提出了柔性薄膜网格压力传感器的检测机理、传感结构和制作工艺;同时对该传感器样品进行了性能测试和人体压分布测量;并对测试结果进行分析和讨论。实验分析结果表明:本文...
- 周高峰赵玉龙蒋庄德林启敬王新波孙建
- 关键词：薄膜传感器偏瘫患者压阻效应
- MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试被引量：4
- 2011年
- 设计了一种基于压阻效应的微机电系统(MEMS)三维微力探针传感器并对其进行了性能测试.传感器传感单元采用四梁支撑结构,接触探针采用台阶式石英光纤,使传感器的抗干扰能力和灵敏度得到了显著的提高.设计了传感器的过载保护单元,传感器整体尺寸为4 mm×4 mm×16 mm.利用三维超精密定位平台与分析天平搭建传感器测试平台,对三维微力传感器进行性能测试.测试结果表明,该传感器灵敏度优于0.010 6 mV/μN,分辨率优于3μN,非线性误差优于传感器满量程的0.94%.因此,该传感器具有体积小、成本低、灵敏度高、抗干扰能力强、线性好、分辨率高的特点,在微力测试领域拥有广阔的应用前景.
- 王伟忠赵玉龙林启敬
- 关键词：MEMS传感器探针
