利用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术,研究了延迟时间、激光能量和激光脉冲重复频率对掺Er3+光学玻璃等离子体发射光谱的影响。给出了获得谱线品质优良的实验条件,并标定Er II 337.27nm,Er II 349.91nm为分析谱线。实验结果表明:样品在ICCD采集延时为175ns时可以避免等离子体产生初期背景噪声对谱线的影响;谱线强度和信背比随激光能量增加而变化,在75~100mJ间呈线性变化,随后呈缓变增加,激光能量大于120mJ后呈下降趋势,但谱线强度最大值出现时间随激光能量增加而变短;在激光能量120mJ,延迟时间为175ns时,谱线强度随激光脉冲重复频率(1~10Hz)增加而增加,但重复频率为3.3Hz时谱线强度测量相对标准误差最小,其RSD为3.8%。由此可见通过实验合理确定延迟时间、激光能量和激光脉冲重复频率,有利于提高激光诱导击穿光谱分析的精确度。