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安徽省自然科学基金(01044901)

作品数:34 被引量:141H指数:7
相关作者:孙兆奇宋学萍蔡琪王佩红何玉平更多>>
相关机构:安徽大学安徽农业大学滁州学院更多>>
发文基金:安徽省自然科学基金国家自然科学基金安徽省教育厅科学研究项目更多>>
相关领域:理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>

文献类型

  • 34篇期刊文章
  • 4篇会议论文

领域

  • 27篇理学
  • 11篇一般工业技术
  • 4篇电子电信
  • 2篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 20篇微结构
  • 13篇溅射
  • 9篇光学
  • 7篇应力
  • 7篇光学常数
  • 7篇磁控
  • 7篇磁控溅射
  • 6篇AG
  • 6篇AU
  • 5篇射频磁控
  • 5篇射频磁控溅射
  • 5篇膜厚
  • 5篇光谱
  • 4篇退火
  • 4篇退火温度
  • 4篇多重分形谱
  • 4篇分形
  • 4篇TEM
  • 3篇陶瓷
  • 3篇体积

机构

  • 37篇安徽大学
  • 3篇安徽教育学院
  • 1篇滁州学院
  • 1篇安徽农业大学
  • 1篇上海交通大学

作者

  • 35篇孙兆奇
  • 25篇宋学萍
  • 11篇蔡琪
  • 9篇王佩红
  • 6篇吕建国
  • 5篇曹春斌
  • 5篇孙大明
  • 5篇何玉平
  • 5篇王磊
  • 4篇江锡顺
  • 4篇赵宗彦
  • 4篇李爱侠
  • 3篇吴桂芳
  • 2篇史守华
  • 2篇高清维
  • 2篇孟凡明
  • 2篇刘艳美
  • 1篇林伟
  • 1篇宋学平
  • 1篇江兵

传媒

  • 6篇合肥工业大学...
  • 5篇安徽大学学报...
  • 4篇功能材料
  • 3篇光学学报
  • 3篇真空科学与技...
  • 2篇物理学报
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇硅酸盐学报
  • 1篇分析测试学报
  • 1篇稀有金属
  • 1篇液晶与显示
  • 1篇电子显微学报
  • 1篇复合材料学报
  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇Chines...
  • 1篇材料科学与工...

年份

  • 1篇2009
  • 3篇2007
  • 7篇2006
  • 8篇2005
  • 7篇2004
  • 9篇2003
  • 3篇2002
34 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
有效介质理论在Ag-MgF_2复合纳米颗粒薄膜中的应用被引量:7
2003年
将描述弥散体系行为的Maxwell Garnett理论与Bruggeman理论应用于Ag MgF2 复合纳米颗粒薄膜 ,分别计算出该复合体系在 2 5 0nm~ 830nm波段范围内的光学常数n、k随波长λ的变化 ,并与实验结果进行比较。发现较之普遍采用的Maxwell Garnett理论 ,由Bruggeman理论计算出的n λ、k λ曲线的峰位、峰宽及峰位随Ag组分质量百分率的位移都与实验结果更为接近。
王佩红蔡琪王磊孙兆奇
关键词:有效介质理论光学性质电学性质
Au-MgF_2复合纳米颗粒薄膜的制备和微结构被引量:5
2004年
用射频磁控共溅射法制备了Au体积分数分别为 6 %、1 5 %、2 5 %、4 0 %、5 0 %和 6 0 %的Au MgF2 复合纳米颗粒薄膜。用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试分析 ,分析结果表明 :制备的Au MgF2 复合纳米颗粒薄膜由fcc Au晶态纳米微粒镶嵌于主要为非晶态的MgF2 陶瓷基体中构成 ,当Au体积百分含量由 1 5 %增至 6 0 %时 ,其平均晶粒尺寸由 5 1nm增大到 2 1 2nm ,晶格常数由 0 39984nm增大到 0 4 0 74 3nm ;随Au体积百分含量由 6 %增至5 0 % ,其颗粒平均粒径则由 9 8nm增至 2 1 4nm。名义组分为vol.6 0 %Au MgF2 样品中Au的体积百分含量约为 6 2 6 % ,与设计值基本一致。
蔡琪王磊王佩红宋学萍孙兆奇
关键词:微结构射频磁控溅射纳米材料
氩气分压与膜厚对溅射Al膜微结构及应力的影响
在不同氩气分压下,用直流溅射法在室温Si基片上制备了不同厚度的Al膜。用光学干涉相移法和X射线衍射技术,对薄膜应力和微结构进行了测试分析。微结构分析表明:制备的Al膜均呈多晶状态,晶体结构仍为面心立方;氩气分压分别为1P...
宋学萍孙兆奇
关键词:微结构应力
文献传递
射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究被引量:1
2009年
采用射频磁控溅射法,在300℃衬底温度下制备了不同厚度的Si薄膜,用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的微结构、光学性质及表面形貌进行了测试分析.结果表明:不同时间下制备的两膜均呈多晶状态;在中红外波段内出现了很强的Si—Si吸收峰;在紫外可见光范围,随着膜厚的增加,Si膜的透过率减弱;AFM测出Si膜的颗粒平均直径在5.65~8.41nm之间.
宋学萍王佩红孙兆奇
关键词:射频磁控溅射微结构光学性质原子力显微镜
射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和应力特性被引量:3
2007年
用JGP560I型超高真空多功能磁控溅射仪在Si(111)衬底上制备了ZnO薄膜。采用X-Ray衍射仪和电子薄膜应力分布测试仪等对其微结构和应力进行了测试分析。研究结果表明,ZnO薄膜具有良好的c轴择优取向;随着薄膜厚度的增加,薄膜中的平均应力减少;膜厚为744 nm时平均应力、应力差均最小,分别为5.973×108Pa、6.159×108Pa,应力分布较均匀。
宋学萍周旭孙兆奇
关键词:ZNO薄膜射频磁控溅射膜厚微结构
Au-MgF_2复合纳米颗粒薄膜的多重分形研究
2005年
用透射电镜(TEM)测定了采用射频磁控共溅射法制备的金属体积分数在6.0%~62.6%之间的Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜的形貌,用多重分形谱描述了不同体积分数薄膜中Au颗粒的空间分布均匀性及其尺寸分布.结果表明:随着Au体积分数的增大,多重分形谱的宽度Δα先增大后减小,说明薄膜中Au颗粒的空间分布不均匀性先增加后减小.当Au体积分数达到某一临界值(在26.5%至38.2%之间)时,Δf从小于零向大于零发生转变,此时薄膜中Au颗粒的尺寸分布,由较大程度上取决于体积最小Au颗粒,向较大程度上取决于体积最大Au颗粒过渡.
吕建国高清维孙兆奇
关键词:多重分形谱TEM体积分数
退火温度对溅射Al膜微结构及应力的影响被引量:9
2003年
用直流溅射法在Si基片上制备了 2 5 0nm厚的Al膜 ,并在不同退火温度下进行退火处理 ,用X射线衍射和光学干涉相位移法对薄膜的微结构及应力随退火温度的变化进行了研究。结构分析表明 :退火后的Al膜均呈多晶状态 ,晶体结构仍为面心立方 ;随着退火温度由 2 0℃升高到 4 0 0℃ ,薄膜的平均晶粒尺寸由 2 2 8nm增加到 2 5 1nm ;薄膜晶格常数在不同退火温度下均比标准值 4 0 4 96 A稍小。应力分析表明 :随退火温度的升高 ,Al膜应力减小 ,30 0℃时平均应力减小为 2 730× 10 8Pa且分布均匀 ;在 4 0 0℃时选区范围内应力差仅为 3 82 8× 10 8Pa。
宋学萍周桃飞赵宗彦孙兆奇
关键词:退火处理微结构应力晶体
半连续Ag膜的多重分形研究被引量:2
2006年
用透射电镜(TEM)观察了用直流磁控溅射法制备的厚度为1.5nm^67nm的半连续Ag膜的形貌,并用多重分形理论定量表征不同厚度半连续Ag膜中Ag小岛的面分布均匀性及其尺寸分布。结果显示:随着薄膜厚度的增加,多重分形谱的谱宽Δα先增大后减小,在6nm^12nm之间出现最大值,表明薄膜中小岛的面分布均匀性是由均匀到不均匀再到均匀的变化过程;当薄膜厚度达到某一临界值(在12nm^67nm之间)时,Δf从<0向>0发生转变,此时薄膜中小岛的尺寸分布由较大程度上取决于体积最小的小岛向较大程度上取决于体积最大的小岛过渡。
孙兆奇吕建国高清维
关键词:多重分形谱TEM薄膜厚度
Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜的制备和微结构
用射频磁控共溅射法制备了Au体积分数分别为6%、15%、25%、40%、50%和60%的Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜。用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试分析,分析结果表明:制备的Au...
蔡琪王磊王佩红宋学萍孙兆奇
关键词:微结构
文献传递
Ag-MgF_2复合纳米金属陶瓷薄膜的渗透阈研究被引量:8
2006年
介绍了几种计算纳米金属颗粒镶嵌于陶瓷基体中而形成的复合纳米金属陶瓷薄膜渗透阈的理论方法,分析了理论方法中所运用模型的特点及其精度.并将Landauer有效介质理论和Priou渗透阈理论应用于Ag-MgF2复合纳米金属陶瓷薄膜的渗透阈计算,所得值分别为0·08和0·14(Ag的体积分数),按Priou渗透阈理论计算的结果与实验结果相符.最后讨论了影响复合金属陶瓷薄膜体系渗透阈的主要因素.
曹春斌蔡琪江锡顺宋学萍孙兆奇
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