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国防科技技术预先研究基金(9140A08050508)
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1
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张玉明
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2009
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LPCVD法制备的高纯半绝缘4H-SiC晶体ESR谱特性
被引量:2
2009年
利用电子自旋共振波谱(ESR)仪,分析由低压化学气相沉积(LPCVD)法制备的高纯半绝缘4H-SiC材料本征缺陷.结果发现,在暗场条件下获得的缺陷信息具有碳空位(VC)及其络合物的特征;谱线具有半高宽较大、峰谷明显不对称的特点.分析认为造成ESR谱线半高宽较大及峰谷不对称现象的主要原因是测试温度较高.同时,吸收谱中峰谷不对称现象及较大半高宽现象的出现还与不对称的晶格结构及缺陷浓度的不均匀分布有关.在110K测试温度下,能级上的电子分布对ESR谱特性影响很小.
程萍
张玉明
郭辉
张义门
廖宇龙
关键词:
电子自旋共振
本征缺陷
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