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国家科技支撑计划(31-1121ZCKF)

作品数：2 被引量：12H指数：2
相关作者：张欣宇钟喜春冯永山王时礼张欣宇更多>>
相关机构：广东省计量科学研究院华南国家计量测试中心华南理工大学更多>>
发文基金：国家科技支撑计划广东省科技计划工业攻关项目更多>>
相关领域：金属学及工艺一般工业技术电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇镀层
  • 1篇镀层厚度
  • 1篇一致性
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇校准方法
  • 1篇厚度
  • 1篇标准器

机构

  • 2篇广东省计量科...
  • 1篇华南理工大学
  • 1篇华南国家计量...

作者

  • 1篇凌珊
  • 1篇王时礼
  • 1篇沈小艳
  • 1篇冯永山
  • 1篇钟喜春
  • 1篇张欣宇
  • 1篇张欣宇

传媒

  • 1篇计量与测试技...
  • 1篇计测技术

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
扫描电子显微镜校准方法被引量：5
2015年
扫描电子显微镜是纳米几何尺寸测量的一种重要工具。本文对扫描电镜现有的检定规程进行评述,分析了可用的标准器现状及各参数校准的可行性。结合作者在国内已开展的工作对扫描电镜放大倍数误差、放大倍数重复性、XY方向图像线性失真度计量特性的实际校准方法进行了讨论。对扫描电镜国家计量技术规范的修订工作提出了建议。
张欣宇凌珊封小亮沈小艳
关键词：扫描电子显微镜标准器校准方法
金属镀层厚度测量结果的一致性研究被引量：7
2014年
利用带有特殊台阶构造的Cr/Ni类型实验样品,分别采用X射线光谱法、轮廓法和截面法进行表面镀层厚度的测量,对三种方法测量结果的一致性问题进行探讨。实验结果表明,X射线光谱法的镀层厚度测量值较其它两种方法明显偏小,相对偏差甚至超过50%。由于利用X荧光测厚仪进行分析时未考虑实际样品与校准工作曲线用标准厚度片的密度差异,因此导致镀层厚度的测量值出现较大偏差。考虑到工业实际上目前普遍利用商品化标准厚度片进行X荧光测厚仪的校准,提出应对该类仪器现有计量校准体系做进一步研究。
张欣宇王时礼钟喜春冯永山
关键词：镀层厚度一致性
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