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中央高校基本科研业务费专项资金(WK2090090010)

作品数：2 被引量：5H指数：1
相关作者：申远竺长安王怡影王俊杰齐向东更多>>
相关机构：合肥师范学院中国科学技术大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家重大技术装备创新研制项目安徽省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇光栅
  • 2篇光栅刻划
  • 2篇光栅刻划机
  • 1篇神经网
  • 1篇神经网络
  • 1篇网络
  • 1篇刻划
  • 1篇控制研究
  • 1篇机电
  • 1篇光机电
  • 1篇光学
  • 1篇傅里叶
  • 1篇傅里叶光学
  • 1篇PID控制
  • 1篇BP神经
  • 1篇BP神经网
  • 1篇BP神经网络
  • 1篇超精密定位

机构

  • 2篇合肥师范学院
  • 2篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 2篇竺长安
  • 2篇申远
  • 1篇齐向东
  • 1篇王怡影
  • 1篇王俊杰

传媒

  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇湖南大学学报...

年份

  • 2篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究被引量：5
2014年
对光栅刻划机超精密定位系统的定位控制以及实验进行探索研究.鉴于控制模型和实验分析验证出光栅刻划机超精密定位系统具有较强的非线性和时变性,提出将基于BP神经网络的PID控制方法用于光栅刻划机定位系统控制,利用神经网络的自学习实时调节PID控制参数,实现精密定位的自适应控制.通过控制实验,稳定地获得了5nm以内的定位精度.
申远王怡影竺长安齐向东
关键词：光栅刻划机BP神经网络PID控制
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究被引量：1
2014年
针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方法采用计算傅里叶光学和弦振动理论进行光栅刻线误差分析,结合振动实验及光学测量进行验证,最后采用智能优化方法对刻划系统进行结构参数优化.虚拟样机仿真结果表明,刻划系统的振动幅度降低了30%,验证了该集成优化方法的有效性.
申远王俊杰竺长安齐向东
关键词：光栅刻划机
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