福建省自然科学基金(A0410008)
- 作品数：4 被引量：16H指数：3
- 相关作者：陈松岩余金中李成赖虹凯周志玉更多>>
- 相关机构：厦门大学中国科学院集美大学更多>>
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- THz Si/SiGe量子级联激光器波导模拟
- ＜正＞Si/SiGe 量子级联激光器是利用空穴在价带子带间的带内跃迁,克服硅、锗及其合金材料的间接带隙的缺点,实现硅发光。在太赫兹波段,如果采用传统的递变折射率波导,要求波导厚度不小于激光在介质中波长的一半,由于硅锗有较...
- 陈锐林桂江邓和清陈松岩
- 关键词：SI/SIGE太赫兹量子级联激光器波导
- 文献传递
- 利用金属过渡层低温键合硅晶片被引量：6
- 2007年
- 在Si/Si之间采用Ti/Au金属过渡层,实现了Si/Si低温键合,键合温度可低至414℃.采用拉伸强度测试对Si/Si键合结构的界面特性进行测试,结果表明,键合强度高于1.27MPa;I-V测试表明,Si/Ti/Au/Ti/Si键合界面基本为欧姆接触;X射线光电子能谱(XPS)测试结果进一步表明,界面主要为Si-Au共晶合金.不同温度的变温退火实验表明,键合温度越高,键合强度越大,且渐变退火有利于提高键合强度.
- 张小英陈松岩赖虹凯李成余金中
- 关键词：硅片键合
- 低温Ge作缓冲层的高组份SiGe弛豫衬底生长研究
- ＜正＞Si 基 SiGe 合金和纯 Ge 材料具有良好的光电热性能,并且与 Si 工艺兼容,在微电子和光电子器件方面得到了广泛应用,如异质结双结型晶体管,应变 Si、SiGe 和 Ge 高迁移率 MOS 管,近红外1.3...
- 周志文蔡志猛张永周笔林桂江赖虹凯李成陈松岩余金中
- 文献传递
- U型凹槽电极硅MSM结构光电探测器的研制
- 2008年
- 为了提高硅MSM结构光电探测器的光电响应度,制备了U型凹槽电极结构的探测器。5 V偏压下,对650 nm波长入射光的绝对光电响应度测试表明,凹槽电极结构的探测器最大光电响应度值为0.486 A/W,比同样尺寸的平版结构光电探测器提高了约6倍。文中也对比了具有抗反射膜和不具有抗反射膜的器件相对响应光谱的差别,并且比较分析了叉指间隙分别为5μm和10μm器件光电响应的不同。
- 黄燕华陈松岩李成蔡加法余金中
- 关键词：探测器
- Ge／Si(100)量子点生长与形态分布的研究被引量：7
- 2008年
- 利用超高真空化学气相淀积系统，通过控制淀积量、温度、流量等生长参数，在n型Si（100）衬底上自组装生长了一系列Ge量子点样品，用原子力显微镜进行了表征与分析。系统地研究了生长参数对Ge岛形态分布的影响并分析了有序、高密度Ge岛的生长机理。结果表明，从二维向三维岛跃迁后，最初形成的高宽比（高度与底宽的比值）在0．04～0.06之间的小岛是一种在低温下可以与圆顶岛共存的稳定岛，两种岛的分布随淀积参数的变化而变化。在高温下小岛几乎消失，流量的变化对小岛的密度影响较小。实验中获得小岛的密度最高为2．6×10^10cm^-2，圆顶岛的密度最高为4．2×10^9cm^-2。
- 周志玉周志文李成陈松岩余金中赖虹凯
- 关键词：GE量子点
- 激光熔蒸制备纳米硅微粒的Raman分析被引量：3
- 2005年
- 以流动气体(N2,Ar2)作为反应环境,利用开放式激光熔蒸系统,通过改变制备参数:熔蒸激光强度,流动气体种类及其流速,激光熔蒸时间,制备出一系列纳米硅样品.利用Raman光谱对在不同参数下所得到的样品表面形貌进行分析,可以看出,激光强度对生成的样品表面形貌有最直接的影响,并决定生成粒子的大小,而流动气体的种类则影响着沉积粒子的分布及其大小.流动的气体防止生成的纳米硅在开放系统中被氧化,而激光熔蒸时间对样品表面形貌的作用则表现的不是很明显.
- 谢可陈松岩林华传张芹黄传敬
- 关键词：纳米硅RAMAN光谱微粒激光强度开放系统
