国家质检公益性行业科研专项(201110051)
- 作品数：2 被引量：13H指数：2
- 相关作者：傅云霞李源吴俊杰蔡潇雨雷李华更多>>
- 相关机构：上海市计量测试技术研究院中国计量学院上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家质检公益性行业科研专项上海市科委纳米专项基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 纳米尺度标准样片光学表征方法的研究被引量：8
- 2012年
- 重点研究了纳米尺度标准样片的光学表征方法。采用基于纳米测量机(NMM)的激光聚焦传感器(LFS)和扫描白光干涉传感器(SWLIS)分别对平面尺度的标准样片和台阶标准样片进行了测量、分析与比较。实验结果表明,利用该纳米测量机LFS对标定值为3μm的TGZ1一维栅格样片进行测量,其扩展不确定度为4.2 nm,实现了精确表征。利用SWLIS测量方法对标定值为49.217μm的SHS8-50.0高台阶标准样板进行测量,测量不确定度分析结果为0.065 7μm,实现了采用光学检测技术跨尺度对纳米尺度精密器件和结构进行表征。扩大了基于纳米测量机光学表征方法的应用范围,有利于纳米几何量量值溯源体系的建立。
- 李源雷李华高婧傅云霞蔡潇雨吴俊杰
- 关键词：镀膜技术表面粗糙度
- 基于电容式传感测头的电容检测系统的设计被引量：5
- 2011年
- 针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分。该微小电容检测电路选用电容/数字转换器(CDC)AD7747芯片,分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序,实现了微小电容的采集和处理,简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验。实验表明:电容式微触觉测头的分辨率为0.02μm,重复性较好,证实了此电容式微触觉测头的可行性。
- 卢歆何明轩李源傅云霞汪红
- 关键词：电容传感器串行通信
