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国家自然科学基金(61036003)

作品数:22 被引量:32H指数:3
相关作者:李成赖虹凯陈松岩成步文王启明更多>>
相关机构:厦门大学中国科学院华侨大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 22篇中文期刊文章

领域

  • 10篇电子电信
  • 7篇理学
  • 4篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 6篇发光
  • 4篇光致
  • 4篇光致发光
  • 2篇电阻
  • 2篇退火
  • 2篇欧姆接触
  • 2篇量子
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇光谱
  • 2篇光致发光谱
  • 2篇硅基
  • 2篇合金
  • 2篇分子束
  • 2篇分子束外延
  • 2篇分子束外延生...
  • 2篇ROOM_T...
  • 2篇SI
  • 2篇SI(100...
  • 2篇SI基

机构

  • 8篇中国科学院
  • 8篇厦门大学
  • 2篇华侨大学
  • 1篇深圳信息职业...
  • 1篇韩山师范学院
  • 1篇闽江学院

作者

  • 8篇李成
  • 7篇陈松岩
  • 7篇赖虹凯
  • 6篇成步文
  • 5篇薛春来
  • 5篇王启明
  • 4篇黄巍
  • 3篇刘智
  • 3篇张广泽
  • 3篇苏少坚
  • 3篇黄诗浩
  • 2篇严光明
  • 2篇张东亮
  • 2篇李亚明
  • 2篇郑元宇
  • 2篇潘书万
  • 2篇陈城钊
  • 2篇王尘
  • 1篇胡美娇
  • 1篇李传波

传媒

  • 13篇物理学报
  • 8篇Chines...
  • 1篇光电子.激光

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 6篇2013
  • 7篇2012
  • 6篇2011
22 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
循环氧化/退火制备GeOI薄膜材料及其性质研究被引量:2
2011年
采用超高真空化学气相淀积系统在SOI(绝缘体上硅)衬底上生长了Si0.82Ge0.18外延层,通过循环氧化/退火工艺,制备出Ge组分从0.24到1的绝缘体上锗硅(SGOI)材料.采用高分辨透射电镜、拉曼散射光谱和光致发光谱表征了其结构及光学性质,对氧化过程中SiGe层中的Ge组分和应变的演变进行了分析.最后制备出11nm厚的绝缘体上Ge材料(GeOI),具有完整的晶格结构和平整的界面.室温下观测到绝缘体上Ge直接带跃迁光致发光,发光峰值位于1540nm,发光强度随激发功率线性变化.结果表明用循环氧化/退火方法制备的GeOI材料具有高的结晶质量,可用于Ge光电子和微电子器件.
胡美娇李成徐剑芳赖虹凯陈松岩
关键词:GEOI退火光致发光谱
Si(001)衬底上分子束外延生长Ge_(0.975)Sn_(0.025)合金薄膜被引量:5
2011年
使用低、高温两步法生长的高质量Ge薄膜作为缓冲层,在Si(001)衬底上采用分子束外延法生长出Ge0.975Sn0.025合金薄膜.X射线双晶衍射和卢瑟福背散射谱等测试结果表明,Ge0.975Sn0.025合金薄膜具有很好的晶体质量,并且没有发生Sn表面分凝.另外,Ge0.975Sn0.025合金薄膜在500℃下具有很好的热稳定性,有望在Si基光电器件中得到应用.
苏少坚汪巍张广泽胡炜玄白安琪薛春来左玉华成步文王启明
关键词:分子束外延
Si(100)表面Se薄膜生长及其在Ti/Si欧姆接触中的应用被引量:2
2011年
本文采用分子束外延(MBE)系统在Si(100)表面淀积Se薄膜.通过控制衬底和固态Se束源炉的温度,实现了Se材料在Si(100)表面上的自限制超薄薄膜生长;在Se超薄层钝化的Si(100)表面上制备的Ti金属电极具有低的欧姆接触电阻特性,且热稳定性温度提升至400℃.
潘书万亓东峰陈松岩李成黄巍赖虹凯
关键词:钝化欧姆接触
Analysis of tensile strain enhancement in Ge nano-belts on an insulator surrounded by dielectrics
2013年
Ge nano-belts with large tensile strain are considered as one of the promising materials for high carrier mobility metal–oxide–semiconductor transistors and efficient photonic devices.In this paper,we design the Ge nano-belts on an insulator surrounded by Si3N4or SiO2for improving their tensile strain and simulate the strain profiles by using the finite difference time domain(FDTD) method.The width and thickness parameters of Ge nano-belts on an insulator,which have great effects on the strain profile,are optimized.A large uniaxial tensile strain of 1.16% in 50-nm width and 12-nm thickness Ge nano-belts with the sidewalls protected by Si3N4is achieved after thermal treatments,which would significantly tailor the band gap structures of Ge-nanobelts to realize the high performance devices.
卢卫芳李成黄诗浩林光杨王尘严光明黄巍赖虹凯陈松岩
关键词:纳米带时域有限差分法载流子迁移率光子器件
Si nanopillar arrays with nanocrystals produced by template-induced growth at room temperature被引量:1
2011年
Well-aligned and closely-packed silicon nanopillar(SNP) arrays are fabricated by using a simple method with magnetron sputtering of Si on a porous anodic alumina(PAA) template at room temperature.The SNPs are formed by selective growth on the top of the PAA pore walls.The growth mechanism analysis indicates that the structure of the SNPs can be modulated by the pore spacing of the PAA and the sputtering process and is independent of the wall width of the PAA.Moreover,nanocrystals are identified by using transmission electron microscopy in the as-deposited SNP samples,which are related to the heat isolation structure of the SNPs.The Raman focus depth profile reveals a high crystallization ratio on the surface.
白安琪郑军陶冶了左玉华薛春来成步文王启明
关键词:SNPS
基于Franz-Keldysh效应的倏逝波锗硅电吸收调制器设计被引量:3
2013年
本文设计了一种基于Franz-Keldysh(FK)效应的GeSi电吸收调制器.调制器集成了脊形硅单模波导.光由脊形硅波导以倏逝波形式耦合进锗硅吸收层.在硅基锗二极管FK效应实验测试的基础上,有源区调制层锗硅中的硅组分设计为1.19%,从而使得器件工作在C(1528—1560nm)波段.模拟结果显示该调制器的3dB带宽可达64GHz,消光比为8.8dB,而插损仅为2.7dB.
李亚明刘智薛春来李传波成步文王启明
关键词:锗硅调制器
Ge(001)衬底上分子束外延生长高质量的Ge_(1-x)Sn_x合金被引量:1
2013年
Ge1-xSnx是一种新型IV族合金材料,在光子学和微电子学器件研制中具有重要应用前景.本文使用低温分子束外延(MBE)法,在Ge(001)衬底上生长高质量的Ge1-xSnx合金,组分x分别为1.5%,2.4%,2.8%,5.3%和14%,采用高分辨X射线衍射(HR-XRD)、卢瑟福背散射谱(RBS)和透射电子显微镜(TEM)等方法表征Ge1-xSnx合金的材料质量.对于低Sn组分(x5.3%)的样品,Ge1-xSnx合金的晶体质量非常好,RBS的沟道/随机产额比(χmin)只有5.0%,HR-XRD曲线中Ge1-xSnx衍射峰的半高全宽(FWHM)仅100″左右.对于x=14%的样品,Ge1-xSnx合金的晶体质量相对差一些,FWHM=264.6″.
苏少坚张东亮张广泽薛春来成步文王启明
关键词:分子束外延
掺杂对多层Ge/Si(001)量子点光致发光的影响
2013年
利用超高真空化学气相沉积设备,在Si(001)衬底上外延生长了多个四层Ge/Si量子点样品.通过原位掺杂的方法,对不同样品中的Ge/Si量子点分别进行了未掺杂、磷掺杂和硼掺杂.相比未掺杂的样品,磷掺杂不影响Ge/Si量子点的表面形貌,但可以有效增强其室温光致发光;而硼掺杂会增强Ge/Si量子点的合并,降低小尺寸Ge/Si量子点的密度,但其光致发光会减弱.磷掺杂增强Ge/Si量子点光致发光的原因是,磷掺杂为Ge/Si量子点提供了更多参与辐射复合的电子.
刘智李亚明薛春来成步文王启明
关键词:磷掺杂光致发光
Room temperature direct-bandgap electroluminescence from a horizontal Ge ridge waveguide on Si
2016年
We report a lateral Ge-on-Si ridge waveguide light emitting diode(LED) grown by ultrahigh vacuum chemical vapor deposition(UHV-CVD). Direct-bandgap electroluminescence(EL) of Ge waveguide under continuous current is observed at room temperature. The heat-enhancing luminescence and thermal radiation-induced superlinear increase of edge output optical power are found. The spontaneous emission and thermal radiation based on the generalized Planck radiation law are calculated and fit very well to the experimental results. The Ge waveguides with different lengths are studied and the shorter one shows stronger EL intensity.
何超刘智成步文
关键词:脊波导超高真空化学气相沉积SI
GeSn合金的晶格常数对Vegard定律的偏离被引量:2
2012年
在Si(001)衬底上,以高质量的弛豫Ge薄膜作为缓冲层,先后生长Sn组分x分别为2.5%,5.2%和7.8%的完全应变的三层Ge_(1-x)Sn_x合金薄膜.在Si(001)衬底上直接生长了x分别为0.005,0.016,0.044,0.070和0.155的五个弛豫Ge_(1-x)Sn_x样品.通过卢瑟福背散射谱、高分辨X射线衍射和X射线倒易空间图等方法测量了Ge_(1-x)Sn_x合金的组分与晶格常数.实验得到的晶格常数相对Vegard定律具有较大的正偏离,弯曲系数b=0.211 A.
苏少坚成步文薛春来张东亮张广泽王启明
关键词:晶格常数
共3页<123>
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