国家自然科学基金(106744085)
- 作品数：2 被引量：12H指数：2
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- 相关机构：山东师范大学更多>>
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- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 激光溅射沉积制备的氮化镓表面形貌分析被引量：3
- 2007年
- 利用激光溅射沉积工艺室温下在n型Si(111)基片上沉积氮化镓(GaN)薄膜,并用原子力显微镜对其表面形貌进行测量,分析了薄膜生长的动力学过程,发现其表面具有自仿射分形特征.通过对高度-高度相关函数的分析,得出在此工艺条件下GaN薄膜生长界面表现出明显的时间和空间标度特性,并且表现出较为明显的颗粒特征,粗糙度指数α随着生长时间的增加逐渐增大,生长指数β在0.42左右,薄膜生长在短时间内可以用Kuramoto-Sivashinsky模型来描述,当生长时间较长时,可以用Mullins扩散模型来描述.
- 邹倩杨诚魏显起董庆瑞滕树云程传福
- 关键词：氮化镓薄膜原子力显微镜
- 光栅尺寸对光栅泰伯效应的影响被引量：9
- 2007年
- 利用菲涅尔衍射理论分析了光栅的衍射,获得光栅菲涅尔衍射的一般公式.通过模拟计算发现了光栅有限尺寸对光栅泰伯效应的影响,并就光栅尺寸对不同泰伯距离处光栅衍射光强分布的影响进行了解释.
- 周同军滕树云
- 关键词：光栅菲涅尔衍射泰伯效应
