中央高校基本科研业务费专项资金(2012jdgz08)
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 相关作者：蒋庄德赵立波赵玉龙张桂铭刘志刚更多>>
- 相关机构：新疆交通职业技术学院西安交通大学学研究院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金陕西省科学技术研究发展计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器被引量：1
- 2013年
- 本文采用基于MEMS技术的梯形悬臂梁密度传感器分别在26-34℃和30-50℃范围内，对甲苯和0．65CS二甲基硅油进行了密度实验研究。选用甲苯作为标准液对该传感器的工作参数进行标定，并测量了甲苯在26℃,30℃和34℃处的密度值。将甲苯的密度实验值与参考值进行比较，得到最大绝对偏差和平均绝对偏差分别为0．70％和0．43％。使用已标定的密度传感器对0．65CS二甲基硅油进行密度测量，并将硅油的密度实验值与参考值进行比较，得到最大绝对偏差和平均绝对偏差分别为4．21％和4．16％，低于5％，满足工程上的需要。
- 赵立波徐龙起热合曼.艾比布力张桂铭蒋庄德赵玉龙王久洪王晓坡刘志刚
- 关键词：MEMS谐振频率传感器
- 微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器被引量：4
- 2015年
- 文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环境20℃和25℃2个温度点下进行了4种有机流体的黏度测量。实验结果表明,微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器具有响应速度快、微型化程度高、易于实现在线流体测量等特点,黏度的测量精度优于8%,较好地满足了流体黏度的工程测量需求。
- 热合曼.艾比布力胡英杰王同东赵立波赵玉龙蒋庄德
- 关键词：MEMS黏度微悬臂梁谐振
- 自增强承压圆筒结构的超高压力传感器被引量：2
- 2013年
- 采用自增强技术与硅压阻效应研制了超高压力传感器,该传感器能够消除封装残余应力的影响并保证其在进行大量程压力测量时具有较高的灵敏度输出。该传感器的弹性元件为圆筒结构的高强度弹簧钢,敏感元件为平膜倒杯式硅压阻芯片。传感器工作时,超高压力作用在圆筒结构的金属弹性元件使其发生轴向位移,该位移量通过弹性元件顶端的传递杆施加到周边固支的硅压阻芯片上,使置于此处的4个电阻条阻值发生线性变化,从而输出与被测压力成正比的电压值。在研究弹性元件在1 000MPa超高压力下的工作性能时,理论与仿真相结合研究了弹性元件的承载强度,确定采用自增强处理技术提高弹性元件的承载能力。最后,对封装好的传感器静态性能进行了标定实验。实验结果表明,该传感器能够承受1 000MPa以上的工作压力,线性度为0.52%,满足工业领域的应用需求。
- 郭鑫热合曼.艾比布力王鸿雁赵立波蒋庄德
- 关键词：压阻效应微机电系统
- 矩形微悬臂梁的流固耦合谐振频率分析被引量：2
- 2013年
- 为了得到矩形微悬臂梁的谐振频率与流体密度的理论关系式,建立了微悬臂梁与流体的耦合振动微分方程.通过叠加微悬臂梁的真空振型替代微悬臂梁的流固耦合振型,将流体对微悬臂梁的影响转换为流体动压力,利用真空振型的正交性对振动微分方程进行求解,从而得到悬臂梁谐振频率与流体密度的函数关系.在此基础上,对浸没于10～30℃正庚烷和异辛烷中的单晶硅微悬臂梁的谐振频率进行理论计算、仿真分析和实验测量,将谐振频率的理论计算值分别与仿真和实验值进行比较,结果表明：理论值和仿真值的绝对偏差低于2.8％,理论值和实验值的绝对偏差低于0.9％,验证了悬臂梁的流固耦合谐振频率与流体密度理论关系式的正确性,为流体密度的测量和传感器尺寸的微型化提供了理论基础和参考依据.
- 赵立波徐龙起热合曼艾比布力张桂铭王鸿雁秦宇刘志刚赵玉龙蒋庄德
- 关键词：流固耦合微悬臂梁谐振频率
