吉林省科技厅资助项目(20030322)
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
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- 共平面低功耗CO气体传感器的设计及制作
- 2009年
- 设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,利用MEMS技术制作了传感器样品。实验测得该传感器对于体积分数为50×10-6CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50×10-6CO气体)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器。
- 刘丽张彤王连元田云霞范会涛
- 关键词：低功耗微结构CO气体传感器
- 微结构气体传感器的优化设计被引量：4
- 2005年
- 利用SiO2相对于SiNx有更低的热导率,作为膜式微气体传感器的热绝缘和电绝缘层,而单晶Si适合通过各向异性腐蚀形成倒杯状结构来支撑SiO2膜。将膜式微气体传感器中的加热器和信号电极设计在一个平面上,以减小工艺复杂度,获得较高的加热效率。利用有限元分析工具ANSYS分析比较加热器和信号电极在不同宽度与间距时的温度分布。当设定加热器宽度为50μm,信号电极宽度50μm,加热器和信号电极间距为25μm,微气体传感器将获得更低的功耗和比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。
- 李春明张彤刘丽徐宝琨
- 关键词：气体传感器有限元分析功耗温度分布
- 利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构被引量：5
- 2005年
- 利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性,设计一种以金属铂薄层为加热器,叉指状金薄层为信号电极,SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件。利用有限元分析工具ANSYS,对该硅基微结构气敏元件的加热衬底的温度场进行模拟和分析,根据分析的结果对所设计的气敏元件优化,优化后的气敏元件热损耗将更小,响应速度将更快。
- 张彤李春明刘丽徐宝琨
- 关键词：微热板ANSYS温度场响应速度
