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PZT薄膜的结晶特性及红外特性: 2008年; 采用电子柬蒸发方法在n—Si（100）衬底上制备Pb（ZrxTi1-x）O3（简记为PZT）多晶薄膜．用X射线衍射分析了PZT薄膜的结晶择优取向与Zr／Ti成分比、生长温度、退火气氛和退火温度的关系．结果表明不同Zr／Ti比的薄膜在真空中退火都形成（110）择优取向；而在空气中退火后薄膜的择优方向与Zr／Ti成分比有关，Zr／Ti比值小时为（101）择优取向，Zr／Ti大时为（100）择优取向．红外吸收光谱的测量结果表明（100）和（110）择优取向的PZT薄膜在长红外波段（8～12um）存在较强的吸收峰，而（101）择优取向的PZT薄膜在这一波段没有明显的吸收峰．; 谢东珠任玉磊; 关键词：X射线衍射红外吸收光谱

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上海市教委科研基金(05DZ08)