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安徽省高校省级自然科学研究项目(KJ2012B115)

作品数:1 被引量:0H指数:0
相关作者:傅刚洪求三余建立更多>>
相关机构:巢湖学院广州大学更多>>
发文基金:安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇气敏
  • 1篇气敏特性
  • 1篇气敏性
  • 1篇气敏性能
  • 1篇PT
  • 1篇PT掺杂
  • 1篇SNO2薄膜
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇巢湖学院
  • 1篇广州大学

作者

  • 1篇余建立
  • 1篇洪求三
  • 1篇傅刚

传媒

  • 1篇复旦学报(自...

年份

  • 1篇2012
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
直流溅射掺杂Pt的SnO2薄膜气敏特性
2012年
采用非醇盐溶胶-凝胶工艺在Al2O3基片上旋转涂敷制备掺杂Sb的SnO2薄膜,再经直流溅射制得表面掺杂Pt的Sb∶SnO2薄膜,测试了薄膜对乙醇、汽油、苯、二甲苯、甲苯、丙酮和NH3气体的气敏性能,探讨了不同Pt掺杂量对乙醇气敏性能的影响.结果表明,Pt的溅射时间为90 s时,元件对50×10-6乙醇气体的灵敏度高达43,且薄膜具有较好的响应-恢复特性,其响应时间和恢复时间均为6 s.选择性研究表明,薄膜在加热温度为280℃时,具有很好的酒敏特性和选择性.
洪求三傅刚余建立
关键词:SNO2薄膜PT掺杂气敏性能
共1页<1>
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