福建省教育厅A类人文社科/科技研究项目(JA07205)
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 相关作者：宋绪丁傅高升林小东更多>>
- 相关机构：福建船政交通职业学院长安大学福州大学更多>>
- 发文基金：福建省教育厅A类人文社科/科技研究项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 复合工艺制备TiAlN薄膜及其高温抗氧化性能研究被引量：5
- 2010年
- 采用Ti靶电弧离子镀与Al靶中频磁控溅射相结合的复合工艺,通过调节Al靶电流,在不锈钢基体上制备了TiN薄膜和TiAlN薄膜样品,并在热处理炉内对薄膜进行高温抗氧化试验,分析了薄膜氧化前后的表面形貌、断口形貌及显微硬度。结果表明:TiAlN薄膜氧化前和氧化后的硬度均随着铝靶磁控溅射电流的增强、铝含量的提高而增加;TiAlN薄膜的高温稳定性明显优于TiN薄膜;TiAlN薄膜经800℃氧化后发生膨胀而变得疏松,内部发生了柱状晶化,致密性下降。
- 林小东宋绪丁傅高升
- 关键词：TIALN薄膜TIN薄膜抗高温氧化性能中频磁控溅射电弧离子镀
- 电弧离子镀与中频磁控溅射复合制备TiAlN薄膜的研究
- 2008年
- 采用Ti靶电弧离子镀与Al靶中频磁控溅射相结合的复合工艺,分别在单晶硅抛光面和高速钢抛光面两种基体上成功地制备了TiAlN薄膜样品。扫描电镜、能谱和X射线衍射分析结果表明,此复合工艺下制备的TiAlN薄膜比TiN薄膜表面液滴尺寸更小,针状孔洞基本消除,组织更为致密均匀。TiAlN薄膜的Al含量(摩尔分数)为0.86%左右,x(Ti)%∶x(N)%约为1∶1,Al的加入使TiN结晶结构发生畸变,晶格常数变小。TiAlN薄膜的硬度比TiN薄膜的硬度有较大的提高,提高了30%左右。
- 林小东宋绪丁傅高升
- 关键词：中频磁控溅射电弧离子镀TIALN薄膜TIN薄膜
- 电弧离子镀与中频磁控溅射复合制备TiAlN薄膜被引量：4
- 2008年
- 采用Ti靶电弧离子镀与Al靶中频磁控溅射相结合的复合工艺,分别在单晶硅抛光面和高速钢抛光面两种基体上成功地制备了TiAlN薄膜样品。电子扫描电镜(SEM)、能谱和X射线衍射(XRD)分析结果表明:此复合工艺下制备的TiAlN薄膜比TiN薄膜表面液滴尺寸更小,针状孔洞基本消除,组织更为致密均匀。TiAlN薄膜的含Al量为0.86%(原子百分比)左右,Ti与N的含量比(原子百分比)大致为1:1,Al原子的加入使TiN结晶结构发生畸变,晶格常数变小。TiAlN薄膜的硬度比TiN薄膜的硬度,提高30%左右。
- 林小东宋绪丁傅高升
- 关键词：中频磁控溅射电弧离子镀TIALN薄膜TIN薄膜
