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教育部重点实验室开放基金(2009F01)
作品数:
1
被引量:4
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相关作者:
王晓磊
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掺Fe^(3+)TiO_2薄膜型氧气传感器研究
被引量:4
2011年
讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理,重点分析了掺铁对氧敏特性的影响。设计出了基于TiO2薄膜结构氧气传感器,通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400℃下对传感器的氧敏特性进行了测试。实验结果表明,该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应,且具有低电阻的特性。
王巍
王晓磊
代作海
唐政维
李银国
徐洋
白晨旭
关键词:
TIO2
FE^3+
氧气传感器
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