国家自然科学基金(50275071)
- 作品数：15 被引量：155H指数：6
- 相关作者：刘莹李小兵胡敏温诗铸陈兵芽更多>>
- 相关机构：南昌大学清华大学景德镇陶瓷学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江西省自然科学基金江西省教育厅科学技术研究项目更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
- 不同材料的准分子激光微细加工机制被引量：7
- 2005年
- 采用准分子激光加工方法,在相同的工艺参数下加工了Al2O3陶瓷、不锈钢、Q235等脆性和塑性材料。通过扫描电子显微镜(SEM)获得加工表面微观形貌图像和采用表面轮廓仪测得形貌统计参数。分析得出,准分子激光的加工机理是光化学和热效应作用等多种因素影响的综合体现;加工不同材质的材料时,准分子激光具有不同的加工机制,对于脆性材料以光解剥离(APD)为主,而对于塑性材料则以热效应为主。
- 刘莹温诗铸
- 关键词：准分子激光微细加工表面形貌
- 微摩擦测试技术研究进展
- 随着微型机械的发展,尤其是微摩擦学研究的进展,微摩擦测试技术显得极为重要。综述了国内外微摩擦测试技术的研究进展和现状,介绍了基于应变仪、压力传感器、电磁微型马达、硅微机械结构、浮力、光学检测等原理的微摩擦测试仪,分析了它...
- 李小兵刘莹郭纪林周顺斌
- 关键词：微摩擦测试技术
- 文献传递
- 微米级形貌修饰的硅材料表面摩擦特性的实验研究被引量：5
- 2008年
- 微机电系统(MEMS)可动部件间的摩擦特性是影响其性能和可靠性的重要因素之一。为了研究微机械构件间的摩擦行为,设计了一种面-面接触的应变式微摩擦测试仪,以模拟MEMS器件的真实工况。研究了不同微米级条纹形貌硅试样的摩擦特性,结果表明,微尺度下速度对摩擦因数有很大影响;形貌参数存在优选值以有效减少速度的影响和摩擦因数等。
- 董云开张向军刘莹温诗铸
- 关键词：摩擦力表面形貌
- 分形理论及其应用被引量：73
- 2006年
- 分形理论是现代非线性科学中的一个重要的分支,是科学研究中一种重要的数学工具和手段。介绍了分形理论的基本概念,给出了分形理论的重要参数分形维数的几种常见定义和计算方法。重点介绍了分形理论在从自然科学到社会科学的各个领域,如工程技术、物理、化学、生物医学、材料科学、天文地理、经济管理、计算机图形学等学科领域的应用及其最新的进展情况。最后,展望了分形理论的应用前景及其发展方向,提出分形理论将面临和有待解决的问题。
- 刘莹胡敏余桂英李小兵刘晓林
- 关键词：分形维数
- Al_2O_3陶瓷表面准分子激光加工的形貌特征被引量：2
- 2005年
- 以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征。研究表明,准分子激光加工表面形貌的统计参数具有显著的规律性。其高度参数的算术平均值Ra和均方根值Rq随工艺参数呈现同步同趋势变化的规律,并且相互之间具有定量的关系。对此本文提出了准分子激光加工表面轮廓的简化模型,分析计算的结果与实测数据基本吻合。研究还表明,准分子激光加工表面相当平坦,其坡度均方根值.Zq随工艺参数的变化不大。上述特征是由准分子激光加工原理决定的,与通常的切削加工截然不同。
- 刘莹温诗铸
- 关键词：表面形貌
- 微驱动器及其驱动原理被引量：12
- 2006年
- 微机电系统(MEMS)是20世纪80年代在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术。其中,微驱动器是微机电系统的重要组成部分。主要介绍了电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金(SMA)驱动及热驱动等,介绍了它们各自的优缺点及其应用,对其应用前景进行了简要分析。
- 胡敏刘莹周新陈兵芽刘晓阳
- 关键词：微机械微驱动器驱动方式驱动原理
- 不同材料的准分子激光修饰表面形貌的分形表征被引量：2
- 2005年
- 采用准分子激光加工方法,在相同的工艺参数下加工了脆性材料(A l2O3陶瓷)和塑性材料(不锈钢、Q235钢)试件。采用分形理论研究了准分子激光加工的不同材料表面的分形特征,通过结构函数法计算了表面微观形貌的分形维数。结果表明:准分子激光加工的不同材料的表面形貌具有不同的分形特性,在相同的加工条件下A l2O3陶瓷材料表面的分形维数大于不锈钢、Q235钢等塑性材料表面的分形维数,表明脆性材料和塑性材料具有不同的准分子激光加工属性;准分子激光加工表面的分形维数随着激光扫描速度的增大而减小,随放大器电压和脉冲频率的增大而增大,表明可以通过改变加工参数得到不同的分形维数表面。
- 李小兵刘莹
- 关键词：工艺参数表面形貌
- 微摩擦测试仪的研制被引量：9
- 2004年
- 微机械构件表面的微摩擦不同于宏观摩擦,也不同于原子力/摩擦力显微镜探针与基片之间的微摩擦,因此,宏观或微观摩擦实验仪器对于微摩擦的研究有很大的局限.本文从实际出发,设计并研制了考虑微机械工况的销盘式微摩擦测试仪及其数据处理系统,采用微应变片获取摩擦力及载荷导致的变形信号,通过A/D卡采集数据,在数据处理系统中进行数据处理,从而获得微摩擦力和微载荷的数值,为微摩擦特性测试和分析提供一种手段.
- 刘文广刘莹李小兵
- 关键词：微机械微摩擦数据采集测试仪
- 准分子激光修饰Al_2O_3陶瓷表面的微摩擦特性研究被引量：3
- 2005年
- 利用准分子激光修饰微构件常用的A l2O3陶瓷试件,通过改变准分子激光加工工艺参数获得不同的微观表面,并用自行研制的微摩擦测试仪进行微摩擦实验研究.结果表明,在相同条件下摩擦系数随着载荷的增大而减小,随着速度的增大而增大.而准分子激光修饰表面比原始表面的摩擦系数要小,说明利用准分子激光表面修饰可以达到减小摩擦的目的.此外,研究了准分子激光工艺参数与修饰表面摩擦性能的相关性,结果表明,摩擦系数随着放大器电压的变化趋于稳定、随着激光脉冲频率的增大而有增大的趋势、随着激光扫描速度和激光扫描遍数的增大呈现减小趋势.
- 李小兵刘莹
- 关键词：表面修饰AL2O3陶瓷
- 表面形貌分形表征方法的比较被引量：17
- 2006年
- 分形方法是一种用于表征表面形貌的新方法。分析了常用的M-B分形函数及其参数的选择,并以M-B分形函数作为标准轮廓曲线,分析比较了目前常用的几种分形维数算法,如尺码法、盒维数法、方差法、轮廓均方根法、功率谱法、结构函数法等。结果表明,结构函数法所得表面轮廓分形维数的稳定性和准确性较高。
- 李小兵刘莹
- 关键词：分形维数计算方法表面形貌
