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NSAF联合基金(11076004)
作品数:
1
被引量:14
H指数:1
相关作者:
史立波
邱丽荣
赵维谦
王允
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相关机构:
北京理工大学
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发文基金:
国家重大科学仪器设备开发专项
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NSAF联合基金
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相关领域:
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史立波
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2012
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激光差动共焦透镜中心厚度测量系统的研制
被引量:14
2012年
基于高精度光学共焦定位技术研制了一种全新的非接触透镜中心厚度测量系统,该系统利用差动共焦技术的高轴向层析特性和轴向响应曲线的绝对零点对被测透镜的前表面顶点和后表面顶点分别进行精密瞄准定位;同时,利用激光干涉仪获得透镜前、后表面顶点的位置坐标;然后通过光线追迹算法计算透镜中心厚度,进而实现了透镜中心厚度的高精度非接触测量。实验结果表明,该系统测量精度高,测量标准差小于1μm,满足透镜中心厚度测量的精度要求。
史立波
邱丽荣
王允
赵维谦
关键词:
非接触测量
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