国家高技术研究发展计划(08663NJ090)
- 作品数：3 被引量：34H指数：3
- 相关作者：王孝坤郑立功张学军胡海翔薛栋林更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信化学工程更多>>
- 利用激光跟踪仪测量超长导轨直线度的方法被引量：20
- 2013年
- 在简要分析和对比各种检测导轨直线度方法的基础上,提出利用激光跟踪仪测量超长导轨直线度的方法,对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究。结合工程实例,对一数控机床的20m超长导轨进行了直线度测量,得到其2个方向上的直线度分别为27μm和25μm。该方法拓宽了激光跟踪仪的现有功能,能精确快速地完成对超长导轨直线度的检测,并可以实现对超长导轨2个方向直线度的分离,测量导轨的长度可达到70m,检测精度为0.4μm/m。
- 王孝坤
- 关键词：光学检测直线度激光跟踪仪
- 基于迭代梯度算法的子孔径拼接检测技术研究被引量：3
- 2014年
- 为了解决粗大调整误差下大口径光学平面镜的子孔径拼接检测问题,基于迭代梯度算法,建立了一套合理的拼接算法和数学模型,同时编制了拼接程序。结合工程实例,利用Φ600mm干涉仪实现了对Φ800mm平面镜的拼接测量。检测中,基于靶标对各子孔径实现对准,拼接所得面形光滑连续无狭缝。实验结果表明,利用迭代梯度算法可以高精度地完成粗大调整误差下大口径平面镜的拼接检测。
- 郑立功闫力松王孝坤薛栋林胡海翔张学军
- 关键词：光学检测子孔径拼接
- 子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿被引量：11
- 2013年
- 针对在子孔径拼接测量非球面的过程中干涉仪与待测非球面相对位置存在的对准误差,提出了一种基于模式搜索迭代算法的调整误差补偿方法。该方法可以很好地从测量的子孔径相位数据中消除由拼接测量位置没有对准带来的调整误差,实现多个子孔径的精确拼接。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了子孔径拼接测量的调整误差补偿模型。对口径为230 mm×141 mm的离轴碳化硅非球面反射镜进行了调整误差补偿和相位数据拼接,得到了精确的全口径面形分布。作为验证,对待测非球面进行了零位补偿检测,结果显示两种测试方法的面形PV值和RMS值的相对偏差仅为0.57%和2.74%。
- 王孝坤
- 关键词：非球面
