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云南省应用基础研究基金(2012FB194)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：赵封林祁小红蔡宏中郑旭魏燕更多>>
相关机构：昆明贵金属研究所更多>>
发文基金：云南省应用基础研究基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇涂层
  • 1篇气相沉积
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇铼
  • 1篇表面形貌
  • 1篇沉积速率
  • 1篇沉积温度

机构

  • 1篇昆明贵金属研...

作者

  • 1篇胡昌义
  • 1篇魏燕
  • 1篇郑旭
  • 1篇蔡宏中
  • 1篇祁小红
  • 1篇赵封林

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
沉积温度对化学气相沉积铼涂层性能的影响被引量：2
2017年
利用五氯化铼热分解反应,采用冷壁式现场氯化化学气相法在钼基体沉积铼涂层,分析不同沉积温度对铼涂层的物相组成、沉积规律、表面形貌、密度和硬度的影响。实验结果表明:沉积所得均为纯铼涂层,晶粒生长方向均以(002)晶面为主;随着沉积温度的上升,铼涂层的沉积速率和沉积效率大幅提升,表面形貌由复杂多面体态变为六棱锥状;涂层组织致密,相对密度最高可达99.9%,维氏硬度随沉积温度升高而升高,最高达6100 MPa。
赵封林胡昌义郑旭祁小红蔡宏中魏燕
关键词：铼化学气相沉积沉积速率表面形貌
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