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国家自然科学基金(1067091)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
白亮
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2009
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用傅里叶变换方法实现的纳米多层膜性能表征
被引量:1
2009年
利用傅里叶变换(FFT)分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线,模拟了各种制备和测试条件对多层膜结构参数测试结果的影响,检验了傅里叶变换方法的适用性和精确度。分析结果表明,相对于传统的反射曲线拟合方法,傅里叶变换方法具有直观和快速的优点,在不引入主观的膜层结构模型的情况下可以较为准确地定出复杂的多层膜结构参数,为多层膜结构表征提供了一种分析方法。
蒋晖
徐敬
朱京涛
黄秋实
白亮
王晓强
王占山
陈玲燕
关键词:
纳米多层膜
傅里叶变换
自相关函数
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