国家自然科学基金(50275127)
- 作品数：8 被引量：39H指数：3
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- 变截面梁的微电镀研究
- 2005年
- 介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.
- 刘益芳吕文龙孙道恒
- 关键词：悬臂梁变截面一致性
- 基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计
- 2006年
- 在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试。
- 王凌云陈义华孙道恒
- 关键词：可靠性陀螺仪平板电极
- 光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析被引量：11
- 2003年
- 采用顺序耦合法 ,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析 ,得出了悬臂梁的动态响应特性 ,并指出了空气阻尼对器件性能的影响 。
- 马海阳王艳华王明亮孙道恒
- 关键词：悬臂梁微机械传感器静电驱动光开关
- 小波分析在平面四杆机构轨迹综合中的应用研究被引量：16
- 2004年
- 将小波多分辨分析理论应用于提取连杆轨迹特征参数并以此构造连杆曲线图谱库,建立了相应的轨迹评价和轨迹复演模型。所提取的特征参数保留了相对斜率角曲线的仅与所取基点有关,与轨迹曲线方位及缩放比例无关的特性。本法减少了图谱数据库的数据冗余、提高了机构综合检索速度。通过与最小二乘距离对比表明本法仍然具有很好的检索排序效果,说明了小波分析可以有效地应用于连杆轨迹的综合课题。
- 王成志纪跃波孙道恒
- 关键词：平面四杆机构连杆曲线小波分析
- 基于Krylov子空间法的MEMS降阶建模与仿真被引量：8
- 2004年
- 获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键。将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模,介绍了Krylov子空间的理论基础,针对MEMS中常见的静电—结构耦合系统,建立了有限元动力学方程,运用修正Arnoldi算法得到降阶模型。算例表明,经大幅度降阶得到的模型真实地反映了系统地运动状态,大大缩短了求解时间,降低了计算复杂度。
- 孙道恒马海阳李文望
- 关键词：MEMS子空间宏模型有限元
- 扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究被引量：1
- 2006年
- 设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础.
- 王凌云刘益芳孙道恒
- 关键词：微机械陀螺仪
- 利用微电铸制作镍悬臂梁被引量：2
- 2005年
- 为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁,采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺.在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后,设计了整个工艺流程,利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作.工艺实验结果表明,整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷,但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀,其中,铸层面积最大的基座铸层最厚,面积次之的粗梁的铸层厚度居中,面积最小的细梁的铸层最薄.实验证明在一定范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象.
- 刘益芳崔宏巍吕文龙孙道恒杨防祖
- 关键词：悬臂梁微电铸
- 小波变换在MEMS降阶建模中的研究被引量：1
- 2005年
- 获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键.提出将小波变换的方法应用于MEMS降阶建模.介绍了小波变换的理论基础,提出了运用小波变换的方法对MEMS进行多尺度降阶建模的基本思想和算法的基本原理.针对最常见的静力学问题,建立了有限元求解方程,采用小波变换的方法提取出系统的几个不同阶次的降阶模型.算例表明:利用该方法通过适当的降阶次数,提取降阶模型可以大幅度地减少计算时间、降低计算复杂度,特别适合MEMS这种大系统的降阶建模.
- 张玉德孙道恒
- 关键词：MEMS小波变换降阶模型宏模型解方程阶次
- 变截面梁的微电镀研究
- 介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程。为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果。实验结果表明,脉...
- 刘益芳吕文龙孙道恒
- 关键词：悬臂梁变截面一致性
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