天津市国际科技合作项目(11ZCGHHZ01000)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：张心正张学智冯鸣李威吴强更多>>
- 相关机构：南开大学山东大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划天津市国际科技合作项目国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 6H-SiC的飞秒激光超衍射加工
- 2013年
- 利用飞秒激光直写微纳加工平台,对6H-SiC材料进行了突破衍射极限的微纳结构加工研究.使用中心波长和脉宽分别为800nm和130fs的钛蓝宝石激光器和荧光倒置显微镜搭建了飞秒激光直写微纳加工平台,研究了在不同的实验条件下对6H-SiC的光学加工情况,采用扫描电子显微镜对加工结构进行表征.通过分析不同的激光功率和不同的曝光时间等实验条件下加工的分辨率,发现分辨率随着激光功率的减小而提高,随扫描速度的增大而提高,且能突破光学衍射极限.最终获得125nm的加工线宽,并加工了加工线宽240nm,周期1.0μm的线阵列.研究结果为微机电系统(MEMS)的微器件设计开创了新的思路,对发展MEMS器件具有重要意义.
- 云志强魏汝省李威罗维维吴强徐现刚张心正
- 关键词：微机电系统
- 基于自相位调制效应的硅基中红外全光二极管被引量：3
- 2013年
- 信号单向导通器件是集成光学中一种重要的基本元件,而中红外波段在空间遥感,光谱分析等领域都有极其重要的应用.本文提出了一种由两个硅基微环谐振腔构成,基于自相位调制效应的硅基中红外全光二极管,并利用数值模拟的方法进行了分析.结果表明,在输入光强为0.5mW到20mW之间时,其非互易导通率可以大于20dB,且正向透过时损耗小于10dB.此外,本文还讨论了环形谐振腔中的线性吸收率,以及双稳态效应对结果的影响.
- 张学智冯鸣张心正
- 关键词：中红外
