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国家教育部博士点基金(20040003065)

作品数:4 被引量:15H指数:2
相关作者:叶雄英周兆英谭苗苗王晓浩郭琳瑞更多>>
相关机构:清华大学更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇机械工程

主题

  • 4篇纳米
  • 4篇纳米管
  • 3篇碳纳米管
  • 2篇微机电系统
  • 2篇机电系统
  • 2篇电系统
  • 1篇电泳沉积
  • 1篇电阻
  • 1篇退火
  • 1篇中碳
  • 1篇敏感特性
  • 1篇纳机电系统
  • 1篇接触电阻
  • 1篇感器
  • 1篇DEP
  • 1篇场发射
  • 1篇场致发射
  • 1篇触电
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 4篇清华大学

作者

  • 4篇周兆英
  • 4篇叶雄英
  • 2篇郭琳瑞
  • 2篇王晓浩
  • 2篇谭苗苗
  • 1篇梁吉
  • 1篇陈烽
  • 1篇伍康
  • 1篇刘力涛

传媒

  • 2篇传感技术学报
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2008
  • 3篇2006
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
利用DEP和流体驱动的碳纳米管组装研究被引量:5
2006年
碳纳米管在微结构上的组装是实现纳器件的关键.本论文分别采用电泳和流体驱动方法对两种不同的多壁碳纳米管进行了排布组装研究.电泳过程中频率一定时,增加电压或电泳时间,碳管沉积的密度增加;流体排布组装过程中,适当的流体速度得到较好的排布效果;较直的碳管取得更好的排布组装效果.同时根据实验结果对电泳和流体驱动两种组装方法的优势和问题进行了比较,结果表明,介电电泳组装能实现在电极间的定位组装,流体排布组装可实现较大面积的均匀排布.
谭苗苗叶雄英王晓浩周兆英
关键词:碳纳米管
利用退火的碳纳米管与金属接触特性的改善被引量:7
2008年
碳纳米管与金属电极间的接触特性是提高纳米器件性能的重要因素。本文采用介电电泳在金属对电极上组装碳纳米管,形成金属-碳纳米管-金属结构。将样品分别在200℃、300℃、400℃下恒温退火1h后自然冷却。通过测量样片的伏安曲线,根据曲线线性度和斜率来评价退火前后的接触状态。实验表明,在三种温度下退火,接触电阻均有不同程度的减小。但一段时间间隔后,电阻又会增加。在本次实验时间范围内,其接触电阻均小于退火前。样片在300℃下分别退火30min、60min、90min后比较其电阻的大小,发现电阻随着退火时间的延长而逐渐减小。
谭苗苗叶雄英王晓浩周兆英
关键词:接触电阻退火
MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究被引量:2
2006年
利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V^4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种"post-MEMS"的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.
郭琳瑞陈烽叶雄英刘力涛伍康周兆英
关键词:场发射
定向多壁碳纳米管薄膜及其场致发射距离敏感特性被引量:1
2006年
研究了定向生长的多壁碳纳米管薄膜场致发射的距离敏感特性,以改进现有场发射传感器中硅及金属针尖的性能。化学气相沉积方法制备的多壁碳纳米管薄膜表现出良好的尖端放电特性,其开启电场可至1.42 V/μm,阈值电场可至2.22 V/μm,通过计算得到的尖端电场增强因子可至4 034以上。随着发射间距的增加,场致发射电流非线性地降低,发射电流对发射间距的最大变化率为0.018 8μA/μm。通过拟合分析发现,场致发射电流随发射间距的变化基本符合Fow ler-N ordhe im关系,该特性可作为碳纳米管场致发射传感器的基本原理用于位移的检测。
郭琳瑞叶雄英周兆英梁吉
关键词:微机电系统传感器场致发射碳纳米管
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