国家大学生创新性实验计划(5731500910)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：诸葛兰剑吴明智王飞吴雪梅王岩岩更多>>
- 相关机构：江苏省薄膜材料重点实验室苏州大学更多>>
- 发文基金：苏州市科技计划项目国家自然科学基金国家大学生创新性实验计划更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- CCP/ICP混合放电C_4F_8/Ar等离子体高、低频功率对AZO薄膜绒面效果的影响被引量：1
- 2013年
- 室温下,采用射频磁控溅射方法在石英基片上制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜。利用CCP/ICP混合放电C4F8/Ar等离子体对制得的AZO薄膜进行绒面处理。利用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征,利用光纤光谱仪分析放电产生的碳氟基团含量的变化。实验结果发现低频功率的增大能够有效增加等离子体中F原子的含量,进而提高薄膜的刻蚀效果,获得较好的绒面结构;但是高频功率变化对薄膜刻蚀效果影响较小。
- 吴明智金成刚王飞黄天源吴雪梅诸葛兰剑
- 关键词：AZOICP发射光谱
- 厚度对掺铝氧化锌薄膜性能的影响被引量：2
- 2012年
- 室温下,采用射频磁控溅射法在单晶硅及石英片上沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜,所用靶材为掺杂Al2 O3的ZnO多晶烧结靶,其中Al2 O3所占质量百分数为2%,分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、霍尔效应测试系统和紫外可见分光光度计来研究不同的薄膜厚度对AZO薄膜结构、表面形貌、电学和光学性质的影响.结果表明:制备的AZO薄膜具有良好的c轴择优取向,同时随着薄膜厚度的增加,薄膜结晶性能变好,电阻率降低,可见光透过率减小.薄膜厚度为1 420 nm时具有最佳的光、电特性,其电阻率可降至4.2×10-3Ω.cm,可见光范围的平均透过率大于82%,且在600 nm波段的透过率高达92%.
- 王岩岩吴明智俞友明王飞吴雪梅诸葛兰剑
- 关键词：AZO磁控溅射膜厚
